! 7 ,     江苏省市场监督管理局 发　布 中 国 标 准 出 版 社 出　版微机电系统半导体气体传感器性能 检测方法 Test method for performance of micro⁃electromechanical systems semiconductor gas sensor 2024 -11-07 发布 2024 -12-07 实施CCS L 40 DB32/T 4894—2024ICS 31.080 DB32/T 4894—2024 前言…………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 1 范围………………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 …………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ………………………………………………………………………………………………… 1 4 试验条件 …………………………………………………………………………………………………… 1 5 检测方法 …………………………………………………………………………………………………… 2 6 检测报告 …………………………………………………………………………………………………… 5 附录 A（资料性）测试箱装置介绍与气体配制方法 ………………………………………………………… 6 参考文献 ………………………………………………………………………………………………………… 8目　　次 Ⅰ DB32/T 4894—2024 前 言 本文件按照 GB/T 1.1—2020《标准化工作导则　第 1部分：标准化文件的结构和起草规则 》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。本文件的发布机构不承担识别专利的责任 。 本文件由江苏省纳米技术标准化技术委员会提出 、归口并组织实施 。 本文件起草单位 ：苏州市计量测试院 、苏州慧闻纳米科技有限公司 。 本文件主要起草人 ：史苏娟、方丹、耿彦红、王瑞、董亮华、徐春、王震、孙旭辉。 Ⅲ DB32/T 4894—2024 微机电系统半导体气体传感器性能 检测方法 1 范围 本文件规定了微机电系统半导体气体传感器性能检测的试验条件 、检测方法及检测报告 。 本文件适用于微机电系统半导体气体传感器的性能检测 。 2 规范性引用文件 本文件没有规范性引用文件 。 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件 。 3.1 微机电系统 micro⁃electromechanical systems ；MEMS 基于微纳制造技术制备的功能结构 、器件构成的系统 。 [来源：GB/T 26111 —2023，3.1.1] 3.2 半导体气体传感器 semiconductor gas transducer/sensor 利用半导体材料的电导率变化 ，将感受的气体转换成可用输出信号的传感器 。 注： 包括表面电导式传感器和体电导式传感器 。 [来源：GB/T 7665 —2005，3.3.1.1，有修改 ] 3.3 传感器检测装置 sensor test module 用于将传感器特性转换为输出信号的测试装置 。 [来源：GB/T 34004 —2017，3.5] 4 试验条件 4.1 环境条件 实验室内环境条件应符合以下要求 ： a）环境温度 ：15 ℃~ 35 ℃，试验过程中温度波动不应超过 ±2 ℃； b）相对湿度 ：25%~ 80%，试验过程中相对湿度波动不应超过 ±5%； c）大气压力 ：86 kPa~ 116 kPa。 4.2 试验设备 试验设备应符合以下要求 ： 1