ICS31.030 CCSL90 中华人民共和国国家标准 GB/T46191—2025 电子级五(二甲氨基)钽 Electronicgradepentakis(dimethylamide)tantalum 2025-10-05发布 2026-05-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、苏州实验室、江苏南 大光电材料股份有限公司、苏州源展材料科技有限公司、长江存储科技有限责任公司、中芯国际集成电 路制造(北京)有限公司、全椒南大光电材料有限公司、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、宁波南大 光电材料有限公司、合肥安德科铭半导体科技有限公司、南大光电(乌兰察布)有限公司、南大光电(淄博) 有限公司、安徽博泰电子材料有限公司。 本文件主要起草人:陈德义、曹可慰、茅炳荣、徐文涛、杨敏、史泽远、孙明璐、陈鹏宇、孙鹏、张婷、 赵俊莎、吴怡然、张健、罗文娇、李雪、高加新、郭威、王伟、魏良杰、毛国玉、张学奇、何晓晨、张宝帅、刘立伟、 王小亮、孙丽丽、曹益宁、童祎、陆平、王博文、彭元兵、娄夏冰、刘能巧、孟庆典、孙建、高朋、张鹏、顾洋洋。 ⅠGB/T46191—2025 电子级五(二甲氨基)钽 1 范围 本文件规定了半导体行业用电子级五(二甲氨基)钽的技术要求、检验规则、包装、标志及随货资料、 运输、贮存及安全信息的要求,描述了相应的检测方法。 本文件适用于沉积氮化钽、氧化钽和钽掺杂物等钽基薄膜的电子级五(二甲氨基)钽。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB190 危险货物包装标志 GB/T3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T6679 固体化工产品采样通则 GB/T11446.1 电子级水 GB12463 危险货物运输包装通用技术条件 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB15603 危险化学品仓库储存通则 GB/T16483—2008 化学品安全技术说明书 内容和项目顺序 GB/T17519—2013 化学品安全技术说明书编写指南 GB/T25915.1 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级 GB/T32566 不锈钢焊接气瓶 SJ/T11637 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 技术要求 电子级五(二甲氨基)钽应符合表1的规定。 1GB/T46191—2025 表1 集成电路用电子级五(二甲氨基)钽技术指标 项目 技术指标 五(二甲氨基)钽有机纯度{Ta[N(CH3)2]5}/% ≥99.5 元素杂质含量银(Ag)含量/(μg/kg) ≤30 铝(Al)含量/(μg/kg) ≤30 砷(As)含量/(μg/kg) ≤20 硼(B)含量/(μg/kg) ≤50 钡(Ba)含量/(μg/kg) ≤20 铍(Be)含量/(μg/kg) ≤20 铋(Bi)含量/(μg/kg) ≤30 镉(Cd)含量/(μg/kg) ≤30 钙(Ca)含量/(μg/kg) ≤80 铬(Cr)含量/(μg/kg) ≤30 钴(Co)含量/(μg/kg) ≤20 铜(Cu)含量/(μg/kg) ≤50 镓(Ga)含量/(μg/kg) ≤20 铪(Hf)含量/(μg/kg) ≤20 铁(Fe)含量/(μg/kg) ≤50 镧(La)含量/(μg/kg) ≤20 铅(Pb)含量/(μg/kg) ≤20 锂(Li)含量/(μg/kg) ≤40 镁(Mg)含量/(μg/kg) ≤40 锰(Mn)含量/(μg/kg) ≤20 汞(Hg)含量/(μg/kg) ≤20 钼(Mo)含量/(μg/kg) ≤30 镍(Ni)含量/(μg/kg) ≤30 铌(Nb)含量/(μg/kg) ≤20 钾(K)含量/(μg/kg) ≤50 钠(Na)含量/(μg/kg) ≤50 锶(Sr)含量/(μg/kg) ≤20 锑(Sb)含量/(μg/kg) ≤30 钍(Th)含量/(μg/kg) ≤30 锡(Sn)含量/(μg/kg) ≤30 钛(Ti)含量/(μg/kg) ≤20 铀(U)含量/(μg/kg) ≤20 钒(V)含量/(μg/kg) ≤20 锌(Zn)含量/(μg/kg) ≤50 锆(Zr)含量/(μg/kg) ≤50 元素杂质总含量/(μg/kg) ≤1000 无机纯度(Purity)(以元素杂质占比计不含氯)/% ≥99.9999 氯离子(Cl-)含量/(mg/kg) ≤20.00 注:未规定的杂质元素含量或其他指标由供需双方协定。 2GB/T46191—2025 5 检测方法 5.1 有机纯度测定 5.1.1 仪器和设备 有机纯度测定所需仪器和设备如下: a) 傅里叶变换核磁共振波谱仪(FT-NMR),分辨率大于或等于400MHz; b) 无氧无水气氛操作箱(手套箱)。 5.1.2 试剂及耗材 有机纯度测定所需试剂及耗材如下。 a) 高纯液氮:纯度大于99.999%;高纯液氦:纯度大于99.999%。 b) 氘代苯:纯度大于或等于99.6%,无水峰。 c) 药匙:可溶性聚四氟乙烯(PFA)材质。 d) 电子天平:精度为0.1mg及以上。 e) 核磁管:直径5mm。 5.1.3 操作步骤 5.1.3.1 样品前处理 在手套箱内用药匙移取50mg五(二甲氨基)钽固体于核磁管中,用0.5mL氘代苯溶剂稀释,充分振 荡全部溶解后作为待测溶液,用密封胶做好管口密封,拿出手套箱待测。取样规则应符合GB/T6679, 安全应符合GB/T3723。 5.1.3.2 空白样品 无水氘代苯试剂。 5.1.3.3 仪器操作流程 按照傅立叶变换核磁共振波谱仪(FT-NMR)说明书开启仪器,通入载气(高纯气体)并调整仪器各 参数达到测定条件,待仪器稳定后选择检测方法,将待测溶液与空白样品分别放入FT-NMR中进行扫描 测定(谱图见附录A)。 5.1.4 结果计算 在基线归零和相位校正前提下,对主峰进行面积积分,扣除空白峰后对除(CD)6氢峰之外所有 H-NMR峰进行积分,对所有被积分峰面积求和(ST),N(CH3)2氢峰面积(SD)与所有被积分峰面积和 之比即为该产品的有机纯度,按公式(1)计算: A=SD ST×100% …………………………(1) 式中: A———产品有机官能团纯度; SD———N(CH3)2氢峰面积; ST———除(CD)6之外的所有被积分氢峰面积之和。 3GB/T46191—2025 5.2 元素杂质含量和无机纯度(Purity)的测定 5.2.1 试验环境 元素杂质含量测定时溶液配制、样品处理、含量测试等应在空气洁净度不低于GB/T25915.1中规 定的ISO6级的洁净间环境下进行。 5.2.2 仪器及试剂 5.2.2.1 仪器和设备 元素杂质含量和无机纯度测定所需仪器和设备如下。 a) 等离子电感耦合质谱仪(ICP-MS)。 b) 百级工作台。 c) 超纯水机。 d) 分析天平:精度不低于0.1mg。 e) 精密移液器:精度0.1μL。 5.2.2.2 试剂及耗材 元素杂质含量和无机纯度测定所需试剂及耗材如下。 a) 高纯气体:高纯液氩,纯度大于99.999%;高纯氨气,纯度大于99.999%;高纯氦气,纯度大于 99.999%;高纯氢气,纯度大于99.999%;高纯空气,纯度大于99.999%。 b) 超纯水:符合GB/T11446.1中的规定的EW-I级水。 c) 电子级硝酸(质量分数55%):单个金属离子小于0.05μg/kg。 d) 1%稀硝酸溶液:取电子级浓硝酸用超纯水按1∶55体积比稀释配制成1%稀硝酸溶液。 e) 电子级氢氟酸(质量分数38%):单个金属离子小于0.05μg/kg。 f) 10%氢氟酸溶液:取电子级氢氟酸用超纯水按1∶3.8体积比稀释配制成10%氢氟酸溶液。 g) 电子级标准溶液:采购具有国家标准编号的各被测元素标准溶液(1000mg/L),用超纯水采 用梯度稀释方式配制1mg/L各元素混标储备液(保质期小于或等于2个月)。 5.2.3 试样前处理 在测试五(二甲氨基)钽产品中的元素杂质含量时,应对被测样品进行酸解前处理。前处理过程应 准备4个100mL洁净干燥的样品瓶,其中1个作为过程空白,另向3个样品瓶中分别称取0.4g五(二 甲氨基)钽样品,加入10%氢氟酸溶液按重量比1∶49稀释50倍,摇匀,作为储备液。称取3g左右储 备液,用纯水按重量稀释10倍,摇匀,备用。 前处理也可使用其他等效方法。 5.2.4 标准曲线的绘制 ICP-MS应每次测试前进行调谐,且测试前均先预热,预热完成后进行空白测样,保证基线噪声或 空白条件参数稳定后绘制标准曲线并对待测样品进行测试。 在百级工作台上用超纯水和1mg/kg各元素混标标准溶液配制0μg/kg、0.25μg/kg、0.5μg/kg、 1.0μg/kg、1.5μg/kg、2.0μg/kg标准曲线标准溶液,在ICP-MS上进行上机测定,记录标准溶液在仪 器上元素特征质量数信号强度值,以待测元素的特