说明:收录25万 73个行业的国家标准 支持批量下载
书 书 书犐犆犛 77 . 040 犆犆犛犎 21 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 / 犜 40279 — 2021 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B   /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉狋犺犻犮犽狀犲狊狊狅犳犳犻犾犿狊狅狀狊犻犾犻犮狅狀狑犪犳犲狉狊狌狉犳犪犮犲 — 犗狆狋犻犮犪犾狉犲犳犾犲犮狋犻狅狀犿犲狋犺狅犱 2021  08  20 /G31 /G32 2022  03  01 /G33 /G34 /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G27 /G28 /G29 /G2A /G33 /G2F /G30 /G34 /G35 /G36 /G31 /G32书 书 书/G21    /G22    /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 GB / T1.1 — 2020 《 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C   /G2D 1 /G2E /G2F : /G26 /G27 /G28 /G22 /G23 /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G2C 》 /G30 /G36 /G37 /G34 /G35 。 /G21 /G22 /G23 /G38 /G39 /G3A /G3B /G2B /G3C /G3D /G3E /G33 /G3F /G40 /G26 /G27 /G28 /G41 /G42 /G43 /G44 /G45 ( SAC / TC203 ) /G46 /G39 /G3A /G3B /G2B /G3C /G3D /G3E /G33 /G3F /G40 /G26 /G27 /G28 /G41 /G42 /G43 /G44 /G45 /G3F /G40 /G2F /G41 /G42 /G43 /G44 /G45 ( SAC / TC203 / SC2 ) /G47 /G48 /G49 /G4A /G4B /G4C /G4D 。 /G21 /G22 /G23 /G34 /G35 /G4E /G4F : /G50 /G51 /G3B /G2B /G3C /G3F /G40 /G50 /G52 /G53 /G54 、 /G55 /G56 /G50 /G51 /G3B /G2B /G3C /G3F /G40 /G50 /G52 /G53 /G54 、 /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G41 /G5D /G5E /G50 /G52 /G53 /G54 、 /G5F /G60 /G61 /G5C /G41 /G50 /G52 /G53 /G54 、 /G62 /G63 /G64 /G65 /G3B /G2B /G3C /G3F /G40 /G50 /G52 /G53 /G54 、 /G57 /G58 /G66 /G67 /G3B /G2B /G3C /G50 /G52 /G53 /G54 、 /G68 /G69 /G6A /G6B /G6C /G3F /G40 /G5D /G5E /G50 /G52 /G53 /G54 、 /G6D /G6E /G5C /G41 ( /G6F /G66 ) /G50 /G52 /G53 /G54 、 /G70 /G28 /G71 /G72 /G73 /G72 /G74 /G51 /G75 /G76 。 /G21 /G22 /G23 /G77 /G78 /G34 /G35 /G79 : /G7A /G7B /G7C 、 /G7D /G7E /G7F 、 /G80 /G81 /G82 、 /G83 /G84 、 /G85 /G66 /G86 、 /G38 /G87 /G88 、 /G89 /G59 /G7C 、 /G8A /G8B 、 /G8C /G8D /G8E 、 /G85 /G8F /G90 、 /G91 /G92 /G93 、 /G94 /G95 /G96 。 Ⅰ 犌犅 / 犜 40279 — 2021 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D   /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 1   /G33 /G34 /G21 /G22 /G23 /G36 /G37 /G97 /G98 /G99 /G9A /G9B /G9C /G9D /G9E /G74 /G9F /GA0 /GA1 /GA2 /GA3 /GA4 /GA5 /G28 /GA0 /GA6 /GA7 、 /GA8 /GA9 /GA0 /GA6 /GA7 /GAA /GAB /G30 /GAC /G9E 。 /G21 /G22 /G23 /GAD /G99 /GAE /G74 /G9F /GA0 /GA1 /GA2 /GA3 /GAF /GB0 /G30 /GA4 /GA5 /G28 /GA0 /GA6 /GA7 /G33 /GA8 /GA9 /GA0 /GA6 /GA7 /G30 /GAA /GAB , /GB1 /GAD /G99 /GAE /GB2 /G50 /G9A /GB3 /G30 、 /GB4 /GB5 /GB6 /G3B /GB4 /GB5 /G30 、 /GB7 /GB8 /GB9 /GBA /GBB /G30 /GA6 /GA7 /GAA /GAB /G30 /G74 /G9F , /GBC /GBD /GA9 /GA0 、 /GBE /G28 /GA0 、 /GBF /G59 /GC0 /GC1 /GC2 /GA7 、 /G9A /GC3 /GC4 /GC5 /GA2 /GA3 /GA6 /GA7 。 /G74 /G9F /GC6 /GC7 /GC8 15nm ~ 10 5 nm 。 2   /G35 /G33 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /GC9 /GCA /G22 /G23 /G62 /G30 /GCB /GCC /GCD /GCE /G22 /G62 /G30 /G36 /GC6 /GCF /GD0 /G99 /GD1 /G32 /GD2 /G21 /G22 /G23 /GD3 /GD4 /GD5 /GD6 /G30 /GD7 /GD8 。 /GD9 /G62 , /GDA /GDB /GDC /G30 /GD0 /G99 /G22 /G23 , /GDD /GDE /GDB /GDC /GDF /GE0 /G30 /GE1 /G21 /GAD /G99 /GAE /G21 /G22 /G23 ; /GD4 /GDA /GDB /GDC /G30 /GD0 /G99 /G22 /G23 , /GD9 /GE2 /GE3 /GE1 /G21 ( /GE4 /GE5 /GB2 /G50 /G30 /GE6 /GE7 /G4E ) /GAD /G99 /GAE /G21 /G22 /G23 。 GB / T14264   /G3B /G2B /G3C /G3F /G40 /G42 /GE8 3   /G3B /G3C /G3D /G3E /G3F GB / T14264 /GE9 /G37 /G30 /G42 /GE8 /G33 /G37 /GEA /GAD /G99 /GAE /G21 /G22 /G23 。 4   /G40 /G32 /G41 /G42 /GEB /G9D /G9A /GEC /GED /GA6 /GA7 /GA2 /GA3 /GEE , /GEF /GB4 /GA6 /GA7 /GF0 /GF1 /GF2 /GF3 , /GF4 /GA6 /GA7 /G30 /G6F /GC9 /GE9 /GA3 /G2F /GF5 /GF6 /GAF /G9C /G9D /G33 /GF7 /G9D , /GF8 /G9C /G9D /G9A /GF9 /GFA /GFB /G2E /G2F /G9C /G9D /G9A /G30 /GFC /GFD 。 /GFE /GC8 /G9A /G30 /GFF /G21 /GCF , /GFA /GFB /G2E /G2F /G9C /G9D /G9A /G30 /G22 /G4F /GD5 /G23 /G24 /G25 /G22 /GB0 ( /G26 /GAB /G22 /GFD ) /GB6 /G24 /G25 /G22 /G27 ( /G26 /GAB /G22 /G28 ), /GD1 /G22 /G4F /G29 /GBA /G2A /G2B /GAE /GFA /GFB /G2E /G2F /G9C /G9D /G30 /G9A /G2C /G2D 。 /G9A /G2C /GF9 /G38 /GA6 /GA7 /GAA /GAB 、 /G9A /G9B /G2E /GBB 、 /G9A /G30 /GFF /GB0 、 /G9C /G9D /G2F /G33 /GF7 /G9D /G2F /G2B /G37 /G30 。 /G30 /GA6 /GA7 /GCB /G9A /G2C /GC5 /GAE /G9A /GFF /GB0 /G30 /G31 /GBB /G32 /G33 , /GFB /G34 /G9C /G9D /G9A /G22 /G4F /G22 /G48 , /G2C /G24 /G

.pdf文档 GB-T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法

文档预览
中文文档 9 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分
温馨提示:本文档共9页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
GB-T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法 第 1 页 GB-T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法 第 2 页 GB-T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法 第 3 页
下载文档到电脑,方便使用
本文档由 人生无常 于 2025-07-18 01:47:48上传分享
友情链接
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们微信(点击查看客服),我们将及时删除相关资源。