书 书 书犐犆犛 ７７ ． １４０ ． ９９ 犎 ５８ /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 ／ 犜 ３８９４０ — ２０２０ /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A 犘狉犲犮犻狊犻狅狀犲狓狆犪狀狊犻狅狀犪犾犾狅狔狊犳狅狉狊犲犪犾犻狀犵狋狅狊犻犾犻犮狅狀犪狀犱狊犻犾犻犮狅狀犮狅犿狆狅狀犲狀狋狊 ２０２０  ０６  ０２ /G2B /G2C ２０２０  １２  ０１ /G2D /G2E /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G27 /G28 /G29 /G2A /G33 /G2F /G30 /G34 /G35 /G36 /G2B /G2C书 书 书前 　　 言 　　 本标准按照 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ 给出的规则起草 。 本标准由中国钢铁工业协会提出 。 本标准由全国钢标准化技术委员会 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ１８３ ） 归口 。 本标准起草单位 ： 钢铁研究总院 、 北京空间机电研究所 、 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 、 冶金工业信息标准研究院 。 本标准主要起草人 ： 张敬霖 、 于一鹏 、 马逵 、 梁璞 、 戴强 、 张建福 、 张习文 、 颜丞铭 、 霍登平 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ３８９４０ — ２０２０ 硅组件用精密封接合金 １ 　 范围 本标准规定了硅组件用精密封接合金的订货内容 、 分类和代号 、 尺寸 、 外形 、 重量 、 技术要求 、 试验方法 、 检验规则 、 包装 、 标志和质量证明书 。 本标准适用于电真空 、 半导体工业及其他应用环境中 ， 与硅组件等进行键合 、 匹配封接的铁镍基 、 铁镍钴基定膨胀封接合金棒材 、 扁材 、 箔材 、 带材 、 丝材 、 管材 （ 以下简称合金材 ）。 ２ 　 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。 凡是注日期的引用文件 ， 仅注日期的版本适用于本文件 。 凡是不注日期的引用文件 ， 其最新版本 （ 包括所有的修改单 ） 适用于本文件 。 ＧＢ ／ Ｔ２２２ — ２００６ 　 钢的成品化学成分允许偏差 ＧＢ ／ Ｔ２２３．５ 　 钢铁 　 酸溶硅和全硅含量的测定 　 还原型硅钼酸盐分光光度法 ＧＢ ／ Ｔ２２３．１９ 　 钢铁及合金化学分析方法 　 新亚铜灵  三氯甲烷萃取光度法测定铜量 ＧＢ ／ Ｔ２２３．２０ 　 钢铁及合金化学分析方法 　 电位滴定法测定钴量 ＧＢ ／ Ｔ２２３．２５ 　 钢铁及合金化学分析方法 　 丁二酮肟重量法测定镍量 ＧＢ ／ Ｔ２２３．４０ 　 钢铁及合金 　 铌含量的测定 　 氯磺酚 Ｓ 分光光度法 ＧＢ ／ Ｔ２２３．６０ 　 钢铁及合金化学分析方法 　 高氯酸脱水重量法测定硅含量 ＧＢ ／ Ｔ２２３．６２ 　 钢铁及合金化学分析方法 　 乙酸丁酯萃取光度法测定磷量 ＧＢ ／ Ｔ２２３．６４ 　 钢铁及合金 　 锰含量的测定 　 火焰原子吸收光谱法 ＧＢ ／ Ｔ２２３．７９ 　 钢铁 　 多元素含量的测定 　 Ｘ 射线荧光光谱法 （ 常规法 ） ＧＢ ／ Ｔ２２３．８５ 　 钢铁及合金 　 硫含量的测定 　 感应炉燃烧后红外吸收法 ＧＢ ／ Ｔ２２３．８６ 　 钢铁及合金 　 总碳含量的测定 　 感应炉燃烧后红外吸收法 ＧＢ ／ Ｔ２９７０ 　 厚钢板超声检测方法 ＧＢ ／ Ｔ４１６２ — ２００８ 　 锻轧钢棒超声检测方法 ＧＢ ／ Ｔ４３３９ 　 金属材料热膨胀特征参数的测定 ＧＢ ／ Ｔ５７７７ 　 无缝和焊接 （ 埋弧焊除外 ） 钢管纵向和 ／ 或横向缺欠的全圆周自动超声检测 ＧＢ ／ Ｔ６３９４ 　 金属平均晶粒度测定方法 ＧＢ ／ Ｔ１１１７０ 　 不锈钢 　 多元素含量的测定 　 火花放电原子发射光谱法 （ 常规法 ） ＧＢ ／ Ｔ１４９８５ — ２００７ 　 膨胀合金尺寸 、 外形 、 表面质量 、 试验方法和检验规则的一般规定 ＧＢ ／ Ｔ２００６６ 　 钢和铁 　 化学成分测定用试样的取样和制样方法 ＧＢ ／ Ｔ２０１２３ 　 钢铁 　 总碳硫含量的测定 　 高频感应炉燃烧后红外吸收法 （ 常规方法 ） ＧＢ ／ Ｔ２０１２５ 　 低合金钢 　 多元素的测定 　 电感耦合等离子体发射光谱法 ＧＢ ／ Ｔ２２３６８ 　 低合金钢 　 多元素含量的测定 　 辉光放电原子发射光谱法 （ 常规法 ） ＧＢ ／ Ｔ３８９３８ — ２０２０ 　 高强度低膨胀合金 ＧＢ ／ Ｔ３８９３９ 　 镍基合金 　 多元素含量的测定 　 火花放电原子发射光谱分析法 （ 常规法 ） ＹＢ ／ Ｔ５２４２ 　 精密合金包装 、 标志和质量证明书的一般规定 ＹＢ ／ Ｔ５３２１ — ２００６ 　 膨胀合金气密性试验方法 １ 犌犅 ／ 犜 ３８９４０ — ２０２０ ３ 　 订货内容 按本标准订购的合同或订单至少应包括下列内容 ： ａ ） 　 本标准编号 ； ｂ ） 　 产品名称 ； ｃ ） 　 牌号 ； ｄ ） 　 交货状态 ； ｅ ） 　 尺寸及允许偏差 ； ｆ ） 　 重量或数量 ； ｇ ） 　 其他特殊要求 。 ４ 　 分类和代号 ４ ． １ 　 合金材按软硬程度可分为 ： ａ ） 　 软态 （ Ｓ ）； ｂ ） 　 硬态 （ Ｈ ）。 ４ ． ２ 　 合金材按加工方法可分为 ： ａ ） 　 冷拉 （ ＷＣＤ ）； ｂ ） 　 冷拉磨光 （ ＷＣＤＧ ）； ｃ ） 　 热轧 （ 锻 ） 态 （ ＷＨ ）。 ５ 　 尺寸 、 外形和重量 合金材的尺寸 、 外形 、 重量及允许偏差应符合 ＧＢ ／ Ｔ１４９８５ — ２００７ 的有关规定 。 ６ 　 技术要求 ６ ． １ 　 牌号和化学成分 合金的牌号和化学成分 （ 熔炼分析和成品分析 ） 应符合表 １ 的规定 。 在满足本标准规定的情况下 ， 允许镍 、 钴 、 铌 、 铜的化学成分偏离表 １ 规定 ， 但应满足 ＧＢ ／ Ｔ２２２ — ２００６ 中表 ３ 的规定 。 表 １ 　 牌号和化学成分 合金 牌号化学成分 （ 质量分数 ）／ ％ Ｃ Ｓｉ Ｍｎ Ｐ Ｓ Ｎｉ Ｃｏ Ｎｂ Ｃｕ Ｆｅ ４Ｊ３３０ ≤ ０．０３０ ≤ ０．３０ ≤ ０．４０ ≤ ０．０２０ ≤ ０．０２０２９．５０ ～ ３０．５０１３．００ ～ １４．２００．２０ ～ ０．３００．３０ ～ ０．５０ 余量 ４Ｊ３３９ ≤ ０．０３０ ≤ ０．５００．３０ ～ ０．６０ ≤ ０．０２０ ≤ ０．０２０３８．０ ～ ４０．０ — — ≤ ０．０２０ 余量 　　 为改善合金性能 ， 允许加入适量 Ｃｅ 、 Ｌａ 元素 。 ２ 犌犅 ／ 犜 ３８９４０ — ２０２０ ６ ． ２ 　 冶炼方法 除非合同中另有规定 ， 合金应采用真空感应炉 、 真空感应 ＋ 电渣重熔的方式冶炼 。 ６ ． ３ 　 交货状态 ６ ． ３ ． １ 　 棒材以冷拉 、 冷拉磨光或热轧 （ 锻 ） 状态交货 。 对热轧 （ 锻 ） 材表面状态有要求的 ， 应在合同中注明 。 ６ ． ３ ． ２ 　 扁材以热轧 （ 锻 ） 状态交货 。 ６ ． ３ ． ３ 　 丝材 、 带材 、 箔材和管材的交货状态应符合表 ２ 的规定 。 表 ２ 　 丝材 、 带材 、 箔材和管材的交货状态 交货状态及符号 丝材 带材 箔材 管材 软态 （ Ｓ ） √ √ √ √ 硬态 （ Ｈ ） √ √ √ √ 深冲态 （ ＤＱ ） — √ — — ６ ． ３ ． ４ 　 经供需双方协商 ， 可供其他交货状态的合金材 。 ６ ． ４ 　 平均线膨胀系数 试样按表 ３ 推荐的热处理制度处理后 ， 合金材的平均线膨胀系数应符合表 ３ 的规定 。 合金材的典型性能参见附录 Ａ 。 表 ３ 　 平均线膨胀系数 合金牌号 试样推荐热处理制度平均线膨胀系数 α ／（ １０ －６ ／ ℃ ） ２０℃ ～ －６０℃２０℃ ～ １００℃２０℃ ～ ２００℃２０℃ ～ ３００℃２０℃ ～ ４００℃ ４Ｊ３３０ ４Ｊ３３９ 在真空或露点低于 －４０℃ 保护气 氛中加热至 ８５０℃ ～ ９００℃ ， 保温 １５ｍｉｎ ， 以不大于 ５℃ ／ ｍｉｎ 的速度 冷至 ２００℃ 以下出炉 — ３．０ ～ ３．８３．２ ～ ３．７ — ３．５ ～ ４．２ 实测 ２．４ ～ ２．８２．５ ～ ３．０３．４ ～ ３．９ — ６ ． ５ 　 金相组织 ６ ． ５ ． １ 　 相变 ４Ｊ３３０ 合金材按表 ３ 规定的热处理制度处理后 ， γ → α 的相变温度应在 －６０℃ 以下 。 对于直径 、 边长或厚度大于 ２５ｍｍ 的棒材 ， 允许局部有相变存在 ， 但相变比例不应超过检验截面的 ５％ 。 ６ ． ５ ． ２ 　 晶粒度 ６ ． ５ ． ２ ． １ 　 深冲带材的平均晶粒度应为 ７ 级或更细 ， 允许粗于 ７ 级的晶粒存在 ， 但不应超过总面积的 １０％ 。 ６ ． ５ ． ２ ． ２ 　 交货状态合金棒材 、 扁材的平均晶粒度应为 ３ 级或更细 ， 相变检验合格时可不进行此项检验 。 ３ 犌犅 ／ 犜 ３８９４０ — ２０２０ ６ ． ６ 　 气密性 根据需方要求 ， 直径或边长不小于 １５ｍｍ 的棒材可进行气密性检验 ， 应无漏气现象 。 ６ ． ７ 　 表面质量 合金材的表面质量应符合 ＧＢ ／ Ｔ１４９８５ — ２００７ 的有关规定 。 ６ ． ８ 　 超声检测 ６ ． ８ ．