说明:收录25万 73个行业的国家标准 支持批量下载
书 书 书犐犆犛 35 . 240 . 50 犑 07 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 / 犜 37959 — 2019 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 犐狀犳狅狉犿犪狋犻狅狀犿狅犱犲犾犳狅狉犮狅狀狋犪犻狀犻狀犵狆狉狅犮犲狊狊犮犺犪犿犫犲狉犐犆犲狇狌犻狆犿犲狀狋犱犲狊犻犵狀 2019  08  30 /G33 /G34 2020  03  01 /G35 /G36 /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G33 /G2F /G30 /G34 /G35 /G36 /G33 /G34/G21    /G22 /G21 /G22 Ⅰ ………………………………………………………………………………………………………… 1   /G23 /G24 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2   /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 1 ……………………………………………………………………………………………… 3   /G2A /G2B /G26 2 …………………………………………………………………………………………………… 4   /G2C /G2D /G2E /G2F 2 …………………………………………………………………………………………………   4.1   /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G2C /G3D /G3E /G3F /G40 /G41 /G42 /G43 /G44 /G45 /G46 /G28 2 ……………………………………   4.2   /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G2C /G3D /G3E /G3F /G40 /G47 /G48 /G49 /G4A /G4B /G4C /G2E /G2F 3 ………………………………… 5   /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G2C /G3D /G3E /G3F /G40 /G4D /G4E /G2C /G2D 4 …………………………………………………   5.1   /G4F /G50 /G2C /G2D 4 ……………………………………………………………………………………………   5.2   /G51 /G52 4 …………………………………………………………………………………………………   5.3   /G53 /G2F 5 …………………………………………………………………………………………………   5.4   /G4D /G4E /G2C /G2D /G54 /G52 5 ……………………………………………………………………………………… /G55 /G56 A ( /G57 /G58 /G59 /G55 /G56 )   /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3F /G40 /G4D /G4E /G2C /G2D /G5A /G5B 13 ……………………………… 犌犅 / 犜 37959 — 2019 /G23    /G24    /G5C /G5D /G5E /G5F /G60 GB / T1.1 — 2009 /G61 /G62 /G43 /G46 /G63 /G64 /G65 。 /G66 /G67 /G68 /G5C /G69 /G48 /G43 /G6A /G6B /G6C /G6D /G6E /G6F /G70 /G71 /G72 /G73 。 /G5C /G69 /G48 /G43 /G74 /G75 /G76 /G4C /G77 /G78 /G79 /G7A /G7B /G7C /G6B /G72 /G73 /G43 /G7D /G7E 。 /G5C /G5D /G5E /G7F /G80 /G81 /G76 /G82 /G31 /G83 /G84 /G85 /G86 /G87 /G62 。 /G5C /G5D /G5E /G7F /G88 /G81 /G89 /G8A /G8B /G2F /G8C /G8D /G36 /G37 /G5D /G5E /G8B /G8E /G25 /G8F /G90 /G86 ( SAC / TC159 ) /G91 /G92 。 /G5C /G5D /G5E /G64 /G65 /G93 /G94 : /G80 /G95 /G4D /G4E /G8E /G25 /G96 /G97 /G98 /G99 、 /G9A /G9B /G9C /G9D 、 /G9E /G9F /G76 /G82 /G31 /G83 /G89 /G8A /G8B /GA0 /GA1 /GA2 /G96 /G97 /G98 /G99 、 /G80 /G81 /GA3 /GA4 /G46 /GA5 /GA6 /GA7 。 /G5C /G5D /G5E /GA8 /G51 /G64 /G65 /GA9 : /GAA /GAB 、 /G42 /GAC 、 /GAD /GAE 、 /GAF /GB0 /GB1 、 /GB2 /GB3 、 /GB4 /G89 /GB5 、 /GB6 /GB7 、 /GB8 /GB9 /GBA 、 /GBB /GBC /GBD 、 /GBB /GBE 。 Ⅰ 犌犅 / 犜 37959 — 2019 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 1   /G37 /G38 /G5C /G5D /G5E /G46 /G28 /GBF /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G2C /G3D /G3E /G3F /G40 /G47 /G48 /G49 /G4A /G4D /G4E /G2C /G2D , /G46 /G28 /GBF /GC0 /G3C /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G2C /G3D /G3E /G3F /G40 /G47 /G48 /G49 /G4A /G43 /G44 /G45 /G59 /G51 /GC1 。 /G5C /G5D /G5E /GC2 /GC3 /GC4 /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B /G43 /G3C /G2C /G3D /G3E /G3F /G40 /G47 /G48 。 2   /G39 /G3A /G3B /G3C /G3D /GC5 /GC6 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /GC2 /GC3 /GC4 /G5C /G69 /G48 。 2 . 1   /G3E /G35   犿狅犱犲犾犻狀犵 /GC7 /GC3 CAD /G47 /G48 /GC8 /GC9 /G3F /G40 /GCA /GCB /G3C /GB5 /GC3 /GC4 /G3D /G3E /G43 /GCC /GCD /G2C /G2D 。 2 . 2   /G3F /G40   狊犻犿狌犾犪狋犻狅狀 /G73 /GC3 /G40 /GCE /G76 /GCF /GD0 /G2C /G2D /GD1 /GD2 /GD3 /GD4 /G2F /G8C /G80 /G74 /GD5 /G43 /G5C /GD6 /G41 /G42 , /GD7 /GD8 /G41 /GCA /G2F /G8C /GCF /GD0 /G2C /G2D /G43 /GD3 /GD9 /GDA /GA0 /GA1 /GDB /GDC /G43 /GDD /G3F /G40 /G80 /G43 /G2F /G8C 。 2 . 3   /G3F /G40 /G41 /G42 /G35 /G43   狊犻犿狌犾犪狋犻狅狀狆狉狅犮犲狊狊狋犲犿狆犾犪狋犲 /GC3 /GC4 /GDE /GDF /G28 /GE0 /G8B /G43 /G3D /G3E /GE1 /G42 /G4D /G4E /G43 /G44 /GE2 XML /G69 /G48 , /GE3 /GDB /GBF /G44 /GE4 /G3D /G3E /GE1 /G42 /G43 /GE5 /GE6 /GE7 /GE8 /G53 /G2F 。 /G44 : /GE9 /G30 /G47 /G48 /G2C /GEA 、 /GC1 /GEB /GE7 /GE8 /GEC /GED /G27 /GEE /GC5 /GEF /GF0 /GF1 /G43 /GF2 /GF3 /

.pdf文档 GB-T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

文档预览
中文文档 18 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分
温馨提示:本文档共18页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
GB-T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型 第 1 页 GB-T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型 第 2 页 GB-T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型 第 3 页
下载文档到电脑,方便使用
本文档由 人生无常 于 2025-07-18 00:34:02上传分享
友情链接
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们微信(点击查看客服),我们将及时删除相关资源。