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书 书 书犐犆犛 25 . 040 . 40 犑 28 中华人民共和国国家标准 犌犅 / 犜 37416 — 2019 洁净机器人通用技术条件 犌犲狀犲狉犪犾狊狆犲犮犻犳犻犮犪狋犻狅狀狊狅犳犮犾犲犪狀狉狅狅犿狉狅犫狅狋 2019  05  10 发布 2019  12  01 实施 国家市场监督管理总局 中国国家标准化管理委员会 发布书 书 书目    次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1   范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2   规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3   术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4   产品分类 2 ………………………………………………………………………………………………… 5   性能 2 ……………………………………………………………………………………………………… 6   技术要求 3 …………………………………………………………………………………………………   6.1   一般要求 3 ……………………………………………………………………………………………   6.2   外观和结构 3 …………………………………………………………………………………………   6.3   功能 3 …………………………………………………………………………………………………   6.4   气动系统 3 ……………………………………………………………………………………………   6.5   电气系统 3 ……………………………………………………………………………………………   6.6   安全 3 …………………………………………………………………………………………………   6.7   噪声 4 …………………………………………………………………………………………………   6.8   电源适应能力 4 ………………………………………………………………………………………   6.9   环境适应性 4 ………………………………………………………………………………………… 7   试验方法 4 …………………………………………………………………………………………………   7.1   试验条件 4 ……………………………………………………………………………………………   7.2   外观和结构检查 5 ……………………………………………………………………………………   7.3   功能检查 5 ……………………………………………………………………………………………   7.4   气动系统检查 5 ………………………………………………………………………………………   7.5   性能 5 …………………………………………………………………………………………………   7.6   安全试验 6 ……………………………………………………………………………………………   7.7   噪声试验 6 ……………………………………………………………………………………………   7.8   电源适应能力试验 6 …………………………………………………………………………………   7.9   环境适应性试验 6 …………………………………………………………………………………… 8   标志 、 使用说明书 、 包装 、 运输和贮存 6 ……………………………………………………………………   8.1   标志 6 …………………………………………………………………………………………………   8.2   使用说明书 7 …………………………………………………………………………………………   8.3   包装 7 …………………………………………………………………………………………………   8.4   运输 7 …………………………………………………………………………………………………   8.5   贮存 7 ………………………………………………………………………………………………… 参考文献 8 ……………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 犌犅 / 犜 37416 — 2019 前    言    本标准按照 GB / T1.1 — 2009 给出的规则起草 。 本标准由中国机械工业联合会提出 。 本标准由全国自动化系统与集成标准化技术委员会 ( SAC / TC159 ) 归口 。 本标准起草单位 : 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 、 北京机械工业自动化研究所有限公司 、 中国科学院沈阳自动化研究所 、 东北大学 、 大连理工大学 、 沈阳芯源微电子设备有限公司 、 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 、 北京锐洁机器人科技有限公司 、 北京北方华创微电子装备有限公司 。 本标准主要起草人 : 徐方 、 邹风山 、 尹作重 、 李志海 、 王金涛 、 唐忠华 、 谭学科 、 边弘晔 、 张锋 、 秦修功 、 吴成东 、 丛明 、 洪旭东 、 刘在行 。 Ⅲ 犌犅 / 犜 37416 — 2019 洁净机器人通用技术条件 1   范围 本标准规定了洁净机器人的产品分类 、 性能 、 技术要求 、 试验方法及标志 、 使用说明书 、 包装 、 运输及贮存等 。 本标准适用于在洁净室使用的 , 在大气或真空环境中执行搬运等任务的洁净机器人 。 2   规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。 凡是注日期的引用文件 , 仅注日期的版本适用于本文件 。 凡是不注日期的引用文件 , 其最新版本 ( 包括所有的修改单 ) 适用于本文件 。 GB / T191   包装储运图示标志 GB / T4768   防霉包装 GB / T4857.23   包装   运输包装件基本试验   第 23 部分 : 随机振动试验方法 GB / T4879   防锈包装 GB / T5048   防潮包装 GB5226.1 — 2008   机械电气安全   机械电气设备   第 1 部分 : 通用技术条件 GB / T7932 — 2017   气动   对系统及其元件的一般规则和安全要求 GB / T9969   工业产品使用说明书   总则 GB11291.1 — 2011   工业环境用机器人   安全要求   第 1 部分 : 机器人 GB / T12642 — 2013   工业机器人   性能规范及其试验方法 GB / T13306   标牌 GB / T25915.1 — 2010   洁净室及相关受控环境   第 1 部分 : 空气洁净度等级 GB / T32293 — 2015   真空技术   真空设备的检漏方法选择 JB / T8896 — 1999   工业机器人   验收规则 3   术语和定义 下列术语和定义适用于本文件 。 3 . 1 工业机器人   犻狀犱狌狊狋狉犻犪犾狉狅犫狅狋 自动控制的 、 可重复编程 、 多用途的操作机 , 可对三个或三个以上轴进行编程 。 在工业自动化中使用 。 注 1 : 工业机器人包括 : ——— 操作机 , 含制动器 ; ——— 控制器 , 含示教盒和某些通信接口 ( 硬件和软件 )。 注 2 : 这包括某些集成的附加轴 。 注 3 : 它可以是固定式或移动式 。 注 4 : 改写 GB / T12643 — 2013 , 定义 2.9 。 1 犌犅 / 犜 37416 — 2019 3 . 2 洁净室   犮犾犲犪狀狉狅狅犿 空气悬浮粒子浓度受控的房间 。 注 1 : 它的建造和使用能减少室内渗入 、 产生及滞留的粒子 。 室内其他有关参数如温度 、 湿度 、 压力也会受控 。 注 2 : 改写 GB50073 — 2013 , 定义 2.0.1 。 3 . 3 真空   狏犪犮狌狌犿 用于描述低于大气压力或大气质量密度的稀薄气体状态或基于该状态环境的通用术语 。 [ GB / T3163 — 2007 , 定义 2.3 ] 3 . 4 洁净机器人   犮犾犲犪狀狉狅狅犿狉狅犫狅狋 在 洁净室 ( 3 . 2 ) 使用的 , 在电子器件制造 、 医药制造 、 食品制造等行业执行搬运等任务的 工业机器人 ( 3 . 1 )。 注 : 可适用于大气和真空环境 。 3 . 5 大气机器人   犪狋犿狅狊狆犺犲狉犻犮狉狅犫狅狋 机器人整体或部分在大气环境下使用的 洁净机器人 ( 3 . 4 )。 3 . 6 真空机器人   狏犪犮狌狌犿狉狅犫狅狋 机器人整体或部分在 真空 ( 3 . 3 ) 环境下使用的 洁净机器人 ( 3 . 4 )。 3 . 7 洁净度   犮犾犲犪狀犾犻狀犲狊狊 以单位体积空气中大于或等于某粒径粒子的数量来区分的洁净程度 。 [ GB50073 — 2013 , 定义 2.0.12 ] 3 . 8 漏率   犾犲犪犽狉犪狋犲狊 在规定条件下 , 一种特定气体通过漏孔的流量 。 [ GB / T3163 — 2007 , 定义 6.1.9 ] 4   产品分类 按使用环境分为 : a )   大气机器人 ; b )   真空机器人 。 5   性能 洁净机器人 ( 以下简称机器人 ) 的性能指标参数 , 应在产品标准中规定 , 包括下列各项 : a )   各轴运动范围 ; b

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