书 书 书犐犆犛 ３１ ． ２２０ 犔 ９５ /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 ／ 犜 ３６６４６ — ２０１８ /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G24 /G25 /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G22 犈狇狌犻狆犿犲狀狋犳狅狉狆狉犲狆犪狉犪狋犻狅狀狅犳狀犻狋狉犻犱犲狊犲犿犻犮狅狀犱狌犮狋狅狉犿犪狋犲狉犻犪犾狊犫狔犺狔犱狉犻犱犲狏犪狆狅狉狆犺犪狊犲犲狆犻狋犪狓狔 ２０１８  ０９  １７ /G32 /G33 ２０１９  ０１  ０１ /G34 /G35 /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G33 /G2F /G30 /G34 /G35 /G36 /G32 /G33书 书 书目 　　 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… １ 　 范围 １ ……………………………………………………………………………………………………… ２ 　 规范性引用文件 １ ………………………………………………………………………………………… ３ 　 术语和定义 １ ……………………………………………………………………………………………… ４ 　 产品分类和标记 ２ ………………………………………………………………………………………… 　 ４．１ 　 分类 ２ ………………………………………………………………………………………………… 　 ４．２ 　 型号标记 ２ …………………………………………………………………………………………… ５ 　 工作条件 ３ ………………………………………………………………………………………………… 　 ５．１ 　 电源 ３ ………………………………………………………………………………………………… 　 ５．２ 　 环境温度 ３ …………………………………………………………………………………………… 　 ５．３ 　 相对湿度 ３ …………………………………………………………………………………………… 　 ５．４ 　 大气压力 ３ …………………………………………………………………………………………… 　 ５．５ 　 洁净室等级 ４ ………………………………………………………………………………………… 　 ５．６ 　 冷却水 ４ ……………………………………………………………………………………………… 　 ５．７ 　 动力气体 ４ …………………………………………………………………………………………… ６ 　 要求 ４ ……………………………………………………………………………………………………… 　 ６．１ 　 压升率 ４ ……………………………………………………………………………………………… 　 ６．２ 　 气体输运系统 ４ ……………………………………………………………………………………… 　 ６．３ 　 电气系统 ４ …………………………………………………………………………………………… 　 ６．４ 　 控制软件 ４ …………………………………………………………………………………………… 　 ６．５ 　 整机性能 ５ …………………………………………………………………………………………… 　 ６．６ 　 安全防护 ５ …………………………………………………………………………………………… ７ 　 检测方法 ６ ………………………………………………………………………………………………… 　 ７．１ 　 压升率测试 ６ ………………………………………………………………………………………… 　 ７．２ 　 气体输运系统检测 ６ ………………………………………………………………………………… 　 ７．３ 　 电气系统检测 ６ ……………………………………………………………………………………… 　 ７．４ 　 控制软件检测 ７ ……………………………………………………………………………………… 　 ７．５ 　 整机性能检测 ７ ……………………………………………………………………………………… 　 ７．６ 　 安全防护检测 ９ ……………………………………………………………………………………… ８ 　 检验规则 ９ ………………………………………………………………………………………………… 　 ８．１ 　 检验分类 ９ …………………………………………………………………………………………… 　 ８．２ 　 型式检验 ９ …………………………………………………………………………………………… 　 ８．３ 　 出厂检验 １０ …………………………………………………………………………………………… Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ３６６４６ — ２０１８ 　 ８．４ 　 判定规则 １０ …………………………………………………………………………………………… ９ 　 标志 、 包装 、 运输和储存 １０ ………………………………………………………………………………… 　 ９．１ 　 标志 １０ ………………………………………………………………………………………………… 　 ９．２ 　 包装 １１ ………………………………………………………………………………………………… 　 ９．３ 　 运输 １１ ………………………………………………………………………………………………… 　 ９．４ 　 储存 １１ ………………………………………………………………………………………………… 附录 Ａ （ 规范性附录 ） 　 氮化物外延材料厚度测量 １２ ……………………………………………………… Ⅱ 犌犅 ／ 犜 ３６６４６ — ２０１８ 前 　　 言 　　 本标准按照 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ 给出的规则起草 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。 本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ） 提出并归口 。 本标准起草单位 ： 东莞市中镓半导体科技有限公司 、 中国电子技术标准化研究院 。 本标准主要起草人 ： 刘鹏 、 孙永健 、 丁晓民 、 冯亚彬 、 王健辉 。 Ⅲ 犌犅 ／ 犜 ３６６４６ — ２０１８ 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备 １ 　 范围 本标准规定了制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备 （ 以下简称 “ ＨＶＰＥ 设备 ”） 的产品分类和标记 、 工作条件 、 要求 、 检测方法 、 检验规则 、 标志 、 包装 、 运输和储存 。 本标准适用于制备直径 ５０．８ｍｍ ～ １５２．４ｍｍ 氮化物半导体材料的 ＨＶＰＥ 设备 。 ２ 　 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。 凡是注日期的引用文件 ， 仅注日期的版本适用于本文件 。 凡是不注日期的引用文件 ， 其最新版本 （ 包括所有的修改单 ） 适用于本文件 。 ＧＢ ／ Ｔ１９１ — ２００８ 　 包装储运图示标志 ＧＢ ／ Ｔ３７６８ — ２０１７ 　 声学 　 声压法测定噪声源声功率级和声能量级采用反射面上方包络测量面的简易法 ＧＢ ／ Ｔ５０８０．７ — １９８６ 　 设备可靠性试验 　 恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案 ＧＢ５２２６．１ — ２００８ 　 机械电气安全 　 机械电气设备 　 第 １ 部分 ： 通用技术条件 ＧＢ ／ Ｔ６３８８ — １９８６ 　 运输包装收发货标志 ＧＢ ／ Ｔ１４２６４ — ２００９ 　 半导体材料术语 ＧＢ５００７３ — ２０１３ 　 洁净厂房设计规范 ＧＢ ／ Ｔ５００８７ — ２０１３ 　 工业企业噪声控制设计规范 ＧＢ５０６４６ — ２０１１ 　 特种气体系统工程技术规范 ＳＪ ／ Ｔ３７ — １９９６ 电子工业专用设备型号编制及命名方法 ３ 　 术语和定义 ＧＢ ／ Ｔ１４２６４ — ２００９ 和 ＧＢ５０６４６ — ２０１１ 界定的以及下列术语和定义适用于本文件 。 ３ ． １ 　 氢化物气相外延 　 犺狔犱狉犻犱犲狏犪狆狅狉狆犺犪狊犲犲狆犻狋犪狓狔 在外延生长所需的化学组分中 ， 至少采用一种氢化物的气相外延 。 ３ ． ２ 　 反应室 　 狉犲犪犮狋犻狅狀犮犺犪犿犫犲狉 对衬底片进行外延工艺的腔室 。 ３ ． ３ 　 载片量 　 犾狅犪犱犮犪狆犪犮犻狋狔 反应室内承载盘上能单层排布直径为 ５０．８ｍｍ 衬底的最多片数 。 注 ： ２ 衬底的直径为 ５０．８ｍｍ 。 １ 犌犅 ／ 犜 ３６６４６ — ２０１８ ３ ． ４ 　 安全模式 　 狊犪犳犲狋狔犿狅犱犲 设备根据运行中的事件触发的状态 ， 根据不同安全等级可给出提示 、 示警 、 警报或自动采取相应措施 。 ３ ． ５ 　 联锁 　 犻狀狋犲狉犾狅犮犽 当设备发生异常状态时 ， 设备自动进入安全模式的应急措施 。 ３ ． ６ 　 菜单记录功能 　 狉犲犮狅狉犱犳狌狀犮狋犻狅狀狅犳狋犺犲犿犲狀狌 当设备运行菜单时 ， 软件以设定的时间间隔对设备的关键参数信息进行记录 ， 并按菜单生成记录文件的功能 。 ３ ． ７ 　 全时记录功能 　 犪犾犾狋犻犿犲狉犲犮狅狉犱 软件不断地以设定的