书 书 书犐犆犛 １３ ． ０４０ ． ３５ 犆 ７０ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 ３６０６６ — ２０１８ 洁净室及相关受控环境检测技术分析与应用 犆犾犲犪狀狉狅狅犿狊犪狀犱犪狊狊狅犮犻犪狋犲犱犮狅狀狋狉狅犾犾犲犱犲狀狏犻狉狅狀犿犲狀狋狊 — 犃狀犪犾狔狊犻狊犪狀犱犪狆狆犾犻犮犪狋犻狅狀狅犳狋犲狊狋狋犲犮犺狀狅犾狅犵狔 ２０１８  ０３  １５ 发布 ２０１８  ０７  ０１ 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布/G21 　　 /G22 /G21 /G22 Ⅰ ………………………………………………………………………………………………………… １ 　 /G23 /G24 １ ……………………………………………………………………………………………………… ２ 　 /G25 /G23 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A １ ………………………………………………………………………………………… ３ 　 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F １ ……………………………………………………………………………………………… ４ 　 /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G28 /G38 /G39 ２ ……………………………………………………………………………… ５ 　 /G30 /G31 /G3A /G2B /G3B /G3C ３ …………………………………………………………………………………………… ６ 　 /G30 /G31 /G3D /G3E /G3F /G40 ４ …………………………………………………………………………………………… ７ 　 /G30 /G31 /G41 /G42 /G43 /G44 ７ …………………………………………………………………………………………… /G45 /G46 Ａ （ /G47 /G48 /G26 /G45 /G46 ） 　 /G49 /G4A /G4B /G4C /G4D /G2D /G31 /G4D ９ ……………………………………………………………… /G45 /G46 Ｂ （ /G47 /G48 /G26 /G45 /G46 ） 　 /G4E /G4F /G30 /G31 １０ ………………………………………………………………………… /G45 /G46 Ｃ （ /G47 /G48 /G26 /G45 /G46 ） 　 /G50 /G51 /G52 /G53 /G54 /G55 /G30 /G56 １１ ……………………………………………………………… /G57 /G58 /G29 /G59 １５ …………………………………………………………………………………………………… 犌犅 ／ 犜 ３６０６６ — ２０１８ /G23 　　 /G24 　　 /G5A /G5B /G5C /G5D /G5E ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ /G5F /G60 /G4B /G25 /G61 /G62 /G63 。 /G64 /G65 /G66 /G5A /G29 /G2A /G4B /G67 /G68 /G69 /G6A /G6B /G6C /G6D /G6E /G6F /G70 。 /G5A /G29 /G2A /G4B /G71 /G72 /G73 /G74 /G75 /G76 /G77 /G78 /G79 /G7A /G68 /G6F /G70 /G4B /G7B /G7C 。 /G5A /G5B /G5C /G7D /G7E /G7F /G80 /G4F /G81 /G6E /G35 /G36 /G82 /G83 /G84 /G85 /G5B /G5C /G86 /G3A /G2B /G87 /G88 /G89 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ３１９ ） /G8A /G60 /G8B /G8C /G8D 。 /G5A /G5B /G5C /G62 /G63 /G8E /G8F ： /G90 /G91 /G92 /G41 /G93 /G94 /G95 /G30 /G31 /G96 /G2E /G90 /G97 、 /G98 /G99 /G9A /G9B /G9C /G31 /G4D /G94 /G95 /G9D 、 /G9E /G9F /G9A /GA0 /GA1 /G4F /G86 /G3A /G2B /GA2 /GA3 /GA4 /GA5 、 /G90 /GA1 /GA6 /GA7 （ /G98 /G99 ） /G80 /G4F /G3A /G2B /GA2 /GA3 /GA4 /GA5 、 /GA8 /G99 /GA9 /GAA /GAB /G6C /GAC /GAD /GAE /GAF /GA2 /GA3 /GA4 /GA5 、 /G98 /G99 /G4F /G86 /G41 /G93 /GB0 /G51 /GA2 /GA3 /GA4 /GA5 、 /G98 /G99 /G9A /GB1 /GB2 /G4F /G86 /GB3 /GB4 /GA2 /GA3 /GA4 /GA5 、 /G98 /G99 /G41 /GB5 /GB6 /GB7 /GB8 /GB9 /G84 /G85 /G3A /G2B /G41 /G93 /GA2 /GA3 /GA4 /GA5 、 /G90 /G7F /G5B /G5C /G86 /GBA /G89 、 /GBB /GBC /GBD /GBE /GBF /GC0 /G41 /G93 /G3A /G2B /GA2 /GA3 /GA4 /GA5 、 /GBB /GBC /GBF /GC0 /GC1 /GB3 /GC2 /GC3 /GA2 /GA3 /G7B /G7C /GA4 /GA5 、 /GC4 /GC5 /GC6 /GC7 /G4F /G86 /GB3 /GB4 /G41 /G93 /GA2 /GA3 /GA4 /GA5 、 /G9E /G9F /GC8 /GC9 /GCA /GCB /G51 /GCC /G41 /G93 /GA4 /GA5 、 /G90 /G7F /G91 /GCD /GCE /G89 /G80 /G4F /G3A /G2B /G43 /G89 。 /G5B /G5C /GCF /G3B /G62 /G63 /GD0 ： /GD1 /GD2 、 /GD3 /G70 /GD4 、 /GD5 /GD6 /GC8 、 /GD3 /GD7 /GD8 、 /GD9 /GCD /GDA 、 /GDB /GDC /GDD 、 /GDE /GD4 /GDF 、 /GE0 /GE1 /GE2 、 /GD3 /GE3 、 /GE4 /GE5 、 /GE6 /GE7 /GE8 、 /GE9 /GEA /GEB 、 /G98 /GEC /GED 、 /GD1 /GEE /GAA 、 /GD1 /GEF /GF0 、 /GF1 /GF2 /GF3 、 /GF4 /GDD 、 /GD1 /GF5 、 /GD9 /GC8 /GB2 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ３６０６６ — ２０１８ /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 １ 　 /G38 /G39 /G5A /G5B /G5C /G5F /G60 /GF6 /G80 /G4F /G81 /G6E /G35 /G36 /G82 /G83 /G84 /G85 /G4B /G30 /G31 /G3B /G3C 、 /GF7 /G5A /G3D /G3E /G3F /G40 /G2D /G3A /G2B /G3B /G3C 。 /G5A /G5B /G5C /GF8 /G28 /GF9 /G80 /G4F /G81 /G6E /G35 /G36 /G82 /G83 /G84 /G85 /G4B /G30 /G31 /G3A /G2B /G43 /G44 /G34 /G37 /G28 。 ２ 　 /G3A /G38 /G3B /G3C /G37 /G3D /G3E /GFA /GFB /G29 /G2A /GFC /GF9 /G5A /G29 /G2A /G4B /G37 /G28 /GFD /GFE /G75 /G6B /GFF /G4B 。 /G21 /GFD /G65 /G22 /G23 /G4B /G27 /G28 /G29 /G2A ， /G24 /G65 /G22 /G23 /G4B /G25 /G5A /GF8 /G28 /GF9 /G5A /G29 /G2A 。 /G21 /GFD /G75 /G65 /G22 /G23 /G4B /G27 /G28 /G29 /G2A ， /G26 /G27 /GC8 /G25 /G5A （ /G28 /G29 /G9D /GA2 /G4B /G2A /G2B /G8E ） /GF8 /G28 /GF9 /G5A /G29 /G2A 。 ＧＢ ／ Ｔ２５９１５．１ — ２０１０ 　 /G80 /G4F /G81 /G6E /G35 /G36 /G82 /G83 /G84 /G85 　 /G2C １ /G2D /G43 ： /G2E /G2F /G80 /G4F /G30 /G31 /G32 ３ 　 /G32 /G3F /G40 /G41 /G42 /GFA /GFB /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /GF8 /G28 /