书 书 书犐犆犛 ７１ ． ０４０ ． ４０ 犌 ８６ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 ３４９７２ — ２０１７ 电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法 犇犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳犿犲狋犪犾犮狅狀狋犲狀狋犻狀犵犪狊犲狊 — 犐狀犱狌犮狋犻狏犲犾狔犮狅狌狆犾犲犱狆犾犪狊犿犪犿犪狊狊狊狆犲犮狋狉狅犿犲狋狉狔犿犲狋犺狅犱 ２０１７  １１  ０１ 发布 ２０１８  ０２  ０１ 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布书 书 书/G21 　　 /G22 　　 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C 。 /G21 /G22 /G23 /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G22 /G23 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G3D （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ） /G3E /G27 /G3F /G40 /G41 。 /G21 /G22 /G23 /G2B /G2C /G42 /G43 ： /G44 /G45 /G46 /G47 /G48 /G49 /G4A /G39 /G3A /G4B /G4C /G4D 、 /G4E /G4F /G38 /G50 /G4B /G4C /G33 /G47 /G4D /G51 /G52 /G53 /G54 、 /G55 /G56 /G57 /G58 /G53 /G54 、 /G59 /G5A /G5B /G5C /G5D /G32 /G5E /G5F /G51 /G52 /G53 /G54 、 /G60 /G61 /G5B /G62 /G63 /G64 /G38 /G50 /G65 /G39 /G66 /G67 /G51 /G52 /G53 /G54 、 /G68 /G69 /G6A /G6B /G5D /G32 /G5E /G5F /G51 /G52 /G53 /G54 、 /G44 /G45 /G5B /G6C /G6D /G6E /G6F /G70 /G39 /G3A /G51 /G52 /G53 /G54 、 /G71 /G72 /G73 /G74 /G38 /G50 /G4B /G4C /G33 /G47 /G4D /G51 /G52 /G53 /G54 。 /G21 /G22 /G23 /G75 /G76 /G2B /G2C /G77 ： /G78 /G79 、 /G7A /G7B 、 /G7C /G7D /G7E 、 /G7F /G80 /G5A 、 /G81 /G82 /G83 、 /G84 /G85 /G86 、 /G87 /G88 、 /G89 /G8A /G8B 、 /G64 /G5B 、 /G8C /G8D 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ３４９７２ — ２０１７ /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G23 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G24 /G29 /G37 /G38 /G39 １ 　 /G3A /G3B /G21 /G22 /G23 /G29 /G8E /G8F /G90 /G91 /G92 /G93 /G94 /G95 /G96 /G97 /G98 /G32 /G99 /G6E /G57 /G49 /G8E /G92 /G98 /G50 /G9A /G91 /G5D /G32 /G71 /G6A /G9B /G9C /G9D /G9E /G48 /G28 /G64 /G9F 。 /G6A /G9B /G9C /G9D /G49 /G8E /GA0 /GA1 /GA2 /GA3 １ 。 /G21 /G22 /G23 /GA4 /G91 /G28 /G92 /G98 /G50 /G9A /G91 /G5D /G32 /GA5 /GA6 ： /GA7 、 /GA8 、 /GA9 、 /GAA 、 /GAB 、 /GAC 、 /GAD /G38 /GAB 、 /GAE /GAF 、 /G55 /GB0 /GAD 、 /GB1 /GB2 /G38 /GB3 、 /GB4 /GAD /G38 /GB5 、 /GB4 /GB2 /G38 /GA8 、 /GA7 /G38 /GB6 /GA8 、 /GB1 /GB2 /GB7 /GAF 、 /GB1 /GB2 /GB8 /GB9 /GBA /G96 /G5D /G32 。 /G21 /G22 /G23 /GA4 /G91 /G28 /G92 /G98 /G50 /G9A /G91 /G5D /G32 /GBB /GBC /GBD /GBE ： /G5D /GBE 。 /G3C １ 　 /G2B /G2C /G3D /G3E /G30 /G31 /G3A /G3B /G9C /G9D /G49 /G8E /GA0 /GA1 ／（ μ ｇ ／ Ｌ ） /G9C /G9D /G49 /G8E /GA0 /GA1 ／（ μ ｇ ／ Ｌ ） Ｌｉ ０．０００１ ～ １００．０ Ｃｅ ０．０００５ ～ １００．０ Ｂｅ ０．０００５ ～ １００．０ Ｐｒ ０．０００５ ～ １００．０ Ｎａ ０．０００１ ～ １００．０ Ｎｄ ０．０００５ ～ １００．０ Ｍｇ ０．０００５ ～ １００．０ Ｐｍ ０．０００５ ～ １００．０ Ａｌ ０．００１ ～ １００．０ Ｓｍ ０．０００５ ～ １００．０ Ｋ ０．００１ ～ １００．０ Ｅｕ ０．０００５ ～ １００．０ Ｃａ ０．００１ ～ １００．０ Ｇｄ ０．０００５ ～ １００．０ Ｓｃ ０．００１ ～ １００．０ Ｔｂ ０．０００５ ～ １００．０ Ｔｉ ０．０００１ ～ １００．０ Ｄｙ ０．０００５ ～ １００．０ Ｖ ０．０００１ ～ １００．０ Ｈｏ ０．０００５ ～ １００．０ Ｃｒ ０．０００５ ～ １００．０ Ｅｒ ０．０００５ ～ １００．０ Ｍｎ ０．０００１ ～ １００．０ Ｔｍ ０．０００５ ～ １００．０ Ｆｅ ０．００１ ～ １００．０ Ｙｂ ０．０００５ ～ １００．０ Ｃｏ ０．０００５ ～ １００．０ Ｌｕ ０．０００５ ～ １００．０ Ｎｉ ０．００１ ～ １００．０ Ｈｆ ０．０００５ ～ １００．０ Ｃｕ ０．０００５ ～ １００．０ Ｔａ ０．０００５ ～ １００．０ Ｚｎ ０．０００１ ～ １００．０ Ｗ ０．００１ ～ １００．０ Ｇａ ０．００１ ～ １００．０ Ｒｅ ０．０００５ ～ １００．０ Ｇｅ ０．００１ ～ １００．０ Ｏｓ ０．０００５ ～ １００．０ Ｒｂ ０．０００５ ～ １００．０ Ｉｒ ０．０００１ ～ １００．０ Ｓｒ ０．０００１ ～ １００．０ Ｐｔ ０．００１ ～ １００．０ Ｙ ０．０００１ ～ １００．０ Ａｕ ０．０００１ ～ １００．０ Ｚｒ ０．０００５ ～ １００．０ Ｈｇ ０．００１ ～ １００．０ １ 犌犅 ／ 犜 ３４９７２ — ２０１７ /G3C １ （ /GBF ） /G9C /G9D /G49 /G8E /GA0 /GA1 ／（ μ ｇ ／ Ｌ ） /G9C /G9D /G49 /G8E /GA0 /GA1 ／（ μ ｇ ／ Ｌ ） Ｎｂ ０．０００５ ～ １００．０ Ｔｉ ０．００１ ～ １００．０ Ｍｏ ０．０００１ ～ １００．０ Ｐｂ ０．０００１ ～ １００．０ Ｔｃ ０．０００５ ～ １００．０ Ｂｉ ０．０００５ ～ １００．０ Ｒｕ ０．０００１ ～ １００．０ Ｐｏ ０．０００５ ～ １００．０ Ｒｈ ０．０００１ ～ １００．０ Ｆｒ ０．０００１ ～ １００．０ Ｐｄ ０．００１ ～ １００．０ Ｒａ ０．０００１ ～ １００．０ Ａｇ ０．０００１ ～ １００．０ Ａｃ ０．０００１ ～ １００．０ Ｃｄ ０．０００５ ～ １００．０ Ｔｈ ０．０００１ ～ １００．０ Ｉｎ ０．０００５ ～ １００．０ Ｐａ ０．０００１ ～ １００．０ Ｓｎ ０．０００１ ～ １００．０ Ｕ ０．０００１ ～ １００．０ Ｓｂ ０．０００５ ～ １００．０ Ｎｐ ０．００１ ～ １００．０ Ｃｓ ０．０００５ ～ １００．０ Ｐｕ ０．０００１ ～ １００．０ Ｂａ ０．０００１ ～ １００．０ Ａｍ ０．０００１ ～ １００．０ Ｌａ ０．０００５ ～ １００．０ — — ２ 　 /G3F /G3A /G40 /G41 /G27 /G42 /G43 /GC0 /GC1 /GC2 /GC3 /GC4 /GC5 /G21 /GC2 /GC3 /G28 /G90 /G91 /GC6 /GC7 /GC8 /GC9 /GCA /G28 。 /GCB /GC6 /GCC /GCD /GCE /G28 /GCF /G91 /GC2 /GC3 ， /GD0 /GCC /GCD /GCE /G28 /GD1 /G21 /GA4 /G91 /GC5 /G21 /GC2 /GC3 。 /GCB /GC6 /GC8 /GCC /GCD /GCE /G28 /GCF /G91 /GC2 /GC3 ， /GD2 /GD3 /GD4 /GD1 /G21 （ /GD5 /GD6 /GD7 /G51 /G28 /GD8 /GD9 /G42 ） /GA