书 书 书犐犆犛 ７１ ． ０４０ ． ４０ 犌 ８６ /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 ／ 犜 ３４９７１ — ２０１７ /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G23 /G28 /G29 /G2A /G2B 犌狌犻犱犲犳狅狉犵犪狊犲狅狌狊犲犳犳犾狌犲狀狋犺犪狀犱犾犻狀犵犻狀狊犲犿犻犮狅狀犱狌犮狋狅狉犻狀犱狌狊狋狉狔 ２０１７  １１  ０１ /G2C /G2D ２０１８  ０２  ０１ /G2E /G2F /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G2F /G31 /G32 /G33 /G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G2C /G2D书 书 书/G21 　　 /G22 　　 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C 。 /G21 /G22 /G23 /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G22 /G23 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G3D （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ） /G3E /G27 /G3F /G40 /G41 。 /G21 /G22 /G23 /G2B /G2C /G42 /G43 ： /G44 /G45 /G46 /G47 /G38 /G48 /G49 /G4A /G33 /G4B /G4C /G4D /G4E /G4F /G50 、 /G51 /G52 /G38 /G48 /G49 /G4A /G33 /G4B /G4C /G4D /G4E /G4F /G50 、 /G53 /G54 /G55 /G56 /G4F /G50 、 /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G32 /G5C /G5D /G4D /G4E /G4F /G50 、 /G58 /G5E /G5F /G60 /G61 /G62 /G63 /G64 /G39 /G4D /G4E /G4F /G50 、 /G65 /G66 /G59 /G67 /G68 /G69 /G6A /G6B /G39 /G3A /G4D /G4E /G4F /G50 、 /G65 /G66 /G5F /G4B /G6C /G6D /G6E /G39 /G3A /G49 /G4A /G4C 。 /G21 /G22 /G23 /G6F /G70 /G2B /G2C /G71 ： /G72 /G73 /G74 、 /G75 /G76 /G58 、 /G77 /G78 /G79 、 /G7A /G7B /G7C 、 /G7D /G7E 、 /G7F /G59 、 /G80 /G81 、 /G82 /G83 /G84 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ３４９７１ — ２０１７ /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G25 /G2A /G2B /G2C /G2D １ 　 /G2E /G2F /G21 /G22 /G23 /G29 /G85 /G86 /G30 /G31 /G32 /G87 /G88 /G89 /G5B /G32 /G8A /G8B /G8C /G8D /G28 /G8E /G8F /G90 /G39 /G3A 。 /G21 /G22 /G23 /G91 /G89 /G92 /G30 /G31 /G32 /G87 /G88 /G89 /G5B /G32 /G28 /G93 /G8F 。 ２ 　 /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G94 /G95 /G3A /G96 /G35 /G85 /G97 /G91 /G89 /G92 /G21 /G98 /G99 。 ２ ． １ 　 /G35 /G36 　 犲犳犳犻犮犻犲狀犮狔 /G9A /G9B /G28 /G38 /G9C /G9D /G9E /G9F /GA0 /GA1 /G8B /G6C /G28 /GA2 /GA3 （ /G6A /GA4 /GA5 /GA2 /GA6 ）。 ２ ． ２ 　 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C 　 犲狀犱狅犳狆犻狆犲犪犫犪狋犲犿犲狀狋 /GA7 /GA8 /GA9 /G5B /G93 /G8F /G8C /G8D /G28 /G8A /G8B /GAA /GAB /G89 /G28 /GAC /G8A /G39 /G3A 。 ２ ． ３ 　 /G3D /G28 /G3E /G3B /G3C 　 狆狅犻狀狋狅犳狌狊犲犪犫犪狋犲犿犲狀狋 /GA7 /GA8 /G30 /G31 /G32 /G48 /GAD /G33 /G34 /G5B /G32 /G8A /G8B /GAE /GAF /G28 /G8A /G8B /GAA /GAB /G89 /G28 /GAC /G8A /G39 /G3A 。 ２ ． ４ 　 /G3F /G40 /G41 /G42 　 狉犲犿狅狏犪犾犮犪狆犪犮犻狋狔 /GB0 /GB1 /G9D /GB2 /GA7 /GB3 /G9A /G9B /G28 /G6C 。 ３ 　 /G43 /G44 /G31 /G94 /G95 /GB4 /GB5 /G96 /G91 /G89 /G92 /G21 /G98 /G99 。 ＣＶＤ ： /G38 /G9C /G5B /GB6 /GB7 /GB8 （ ＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ） ＥＰＩ ： /GB9 /GBA /GB7 /GB8 （ ＥｐｉｔａｘｉａｌＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ） ＬＥＬ ： /GBB /GBC /G94 /G4E （ ＬｏｗｅｒＥｘｐｌｏｓｉｖｅＬｉｍｉｔ ） ＬＰＣＶＤ ： /GBD /GBE /G38 /G9C /G5B /GB6 /GB7 /GB8 （ ＬｏｗＰｒｅｓｓｕｒｅＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ） ＯＥＬ ： /GBF /GC0 /GC1 /GC2 /G4E /GC3 （ ＯｃｕｐａｔｉｏｎａｌＥｘｐｏｓｕｒｅＬｉｍｉｔ ） ＰＥＣＶＤ ： /GC4 /GC5 /G63 /G32 /GC6 /GC7 /G38 /G9C /G5B /GB6 /GB7 /GB8 （ ＰｌａｓｍａＥｎｈａｎｃｅｄＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ） ＰＦＣ ： /G2E /GC8 /G38 /GC9 /G9D （ Ｐｅｒｆｌｕｏｒｏｃｏｍｐｏｕｎｄｓ ） ＰＯＵ ： /GAB /G89 /GAA （ ＰｏｉｎｔＯｆＵｓｅ ） ＲＴＰ ： /GCA /GCB /GCC /G93 /G8F （ ＲａｐｉｄＴｈｅｒｍａｌＰｒｏｃｅｓｓ ） ＶＯＣ ： /GCD /GCE /GCF /G4D /GD0 /G38 /GC9 /G9D （ ＶｏｌａｔｉｌｅＯｒｇａｎｉｃＣｏｍｐｏｕｎｄｓ ） ４ 　 /G45 /G46 ４ ． １ 　 /GD1 /GD2 /G48 /GAD /GD3 /GD4 /GA7 /GD5 /G8A /G8B /G28 /G5B /G32 /GD6 /GC9 /G9D /GD7 /GA7 /GD5 /GA8 /GA9 /G5B /GD8 /G44 /GD9 /GDA /G4D /GDB /G9D /GB2 。 １ 犌犅 ／ 犜 ３４９７１ — ２０１７ ４ ． ２ 　 /GDC /GDD /GDE /G86 /GDF /G87 /G88 /G48 /GD4 /G44 /G8A /G8B /G28 /G5B /G32 /G5A /GCF /G90 /GA0 /G8A /G8B /GE0 /G99 。 ４ ． ３ 　 /GDC /GE1 /GE2 /G33 /G4B /GAC /G8A /G8C /G8D /GE3 /GE4 /GE5 /G53 /GE6 /GE7 /GE8 /GE9 /GEA /G28 /GAC /G8A 。 ４ ． ４ 　 /GEB /GEC /GA9 /G5B /G93 /G8F /G8C /G8D /GE3 /G90 /GAC /G8A /G39 /G3A /GED /GDC /GEE /GEF /GF0 /G4D /GA7 /GD5 /GF1 /GA8 /G92 /GA9 /G5B /G44 /G28 /G9D /GB2 。 ４ ． ５ 　 /GDC /GEE /GEF /GF2 /GF3 /G65 /G28 /G9D /GB2 /GA7 /GD5 /GF4 /GF5 /G28 /GF6 /GF7 ， /GF8 /GF9 /G9D /GB2 /GA7 /GD5 /GFA /G2B /GFB /GFC /G8A /G8B 。 ４ ． ６ 　 /GD9 /GDA /G5A /GFD /G4D /GDB /GFE /GD9 /G9D /G28 /G48 /GAD /GA8 /GFF /GA9 /G5B /G8C /G8D /G8A /G8B /G21 /GDC /G22 /G23 /G24 /G25 /GE3 /G26 /G85 /GAB /G89 /G91 /G27 /G28 ＰＯＵ /GAC /G8A /G39 /G3A 。 ５ 　 /G3C /G47 /