书 书 书犐犆犛 ３１ ． ０３０ 犔 ９０ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 ４３１４ — ２０１７ 代替 ＧＢ ／ Ｔ４３１４ — ２０００ 吸气剂术语 犌犲狋狋犲狉狋犲狉犿狊 ２０１７  １２  ２９ 发布 ２０１８  ０７  ０１ 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布书 书 书前 　　 言 　　 本标准按照 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ 给出的规则起草 。 本标准代替 ＧＢ ／ Ｔ４３１４ — ２０００ 《 吸气剂术语 》， 与 ＧＢ ／ Ｔ４３１４ — ２０００ 相比主要技术变化如下 ： ——— 对耐高温吸气剂 、 高牢固度吸气剂 、 终端吸气速率 、 比吸着容量 、 放气量 、 总放气量 、 预处理放气量 、 释汞率 、 释汞吸气剂热稳定性等术语的名称 、 定义重新进行了解释 ； ——— 增加了组合吸气剂 （ ３．４０ ）、 低温汞齐 （ ３．４１ ）、 初始吸气速率 （ ４．１６ ）、 游离汞 （ ４．６６ ） 术语 。 本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出 。 本标准由中国电子技术标准化研究院归口 。 本标准起草单位 ： 南京华东赛斯真空材料有限公司 、 中国电子技术标准化研究院 、 中国电子科技集团公司第十二研究所 。 本标准主要起草人 ： 薛函迎 、 高陇桥 、 郭卫斌 、 张巨先 。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为 ： ——— ＧＢ ／ Ｔ４３１４ — １９８４ 、 ＧＢ ／ Ｔ４３１４ — ２０００ 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ４３１４ — ２０１７ 吸气剂术语 １ 　 范围 本标准界定了吸气剂一般术语 、 分类术语及特性术语 。 本标准适用于真空器件用吸气剂 。 ２ 　 一般术语和定义 ２ ． １ 　 气体量 　 犵犪狊狇狌犪狀狋犻狋狔 犙 处于统计平衡态的理想气体所具有的动能量度 ， 其值等于气体所占有的体积与其压强的乘积 。 注 ： 必要时 ， 应注明气体温度或换算成 ２０℃ 时的数值 ， 单位为帕 ［ 斯卡 ］ 立方米 （ Ｐａ · ｍ ３ ）， 或焦 ［ 尔 ］（ Ｊ ）。 ２ ． ２ 　 吸附相分子 　 犪犱狊狅狉犫犲犱犵犪狊犿狅犾犲犮狌犾犲 已吸附在固体表面上的气体分子 。 ２ ． ３ 　 气相分子 　 犵犪狊犿狅犾犲犮狌犾犲犻狀狊狆犪犮犲 对应于吸附相分子而言 ， 处于气体与固体交界面的气体一侧的气体分子 。 ２ ． ４ 　 气流量 　 狋犺狉狅狌犵犺狆狌狋 犙 ｔ 单位时间内通过某截面的气体量 。 单位为帕 ［ 斯卡 ］ 立方米每秒 （ Ｐａ · ｍ ３ ／ ｓ ）。 ２ ． ５ 　 漏放率 　 犾犲犪犽狌狆狉犪狋犲 系统内部因漏气或放气引起的单位时间内气体量的增量 。 单位为帕 ［ 斯卡 ］ 立方米每秒 （ Ｐａ · ｍ ３ ／ ｓ ）。 ２ ． ６ 　 吸附 　 犪犱狊狅狉狆狋犻狅狀 吸气剂或吸气剂膜表面对气体或蒸汽的捕集现象 。 注 ： 也可以更明确地说成 “ 表面吸附 ”。 ２ ． ７ 　 吸收 　 犪犫狊狅狉狆狋犻狅狀 气体或蒸汽扩散进入到吸气剂或吸气剂膜内部的现象 。 ２ ． ８ 　 吸气 　 狊狅狉狆狋犻狅狀 由于吸附和吸收现象所造成的对气体和蒸汽的清除过程 。 ２ ． ９ 　 脱附 　 犱犲狊狅狉狆狋犻狅狀 吸着气体的释放现象 。 １ 犌犅 ／ 犜 ４３１４ — ２０１７ ２ ． １０ 　 脱附速率 　 犱犲狊狅狉狆狋犻狅狀狉犪狋犲 在一定压强和温度下 ， 单位时间内固体表面脱附的气体体积数 。 单位为立方米每秒 （ ｍ ３ ／ ｓ ）。 注 ： 也称为放气或除气速率 （ ｏｕｔｇａｓｓｉｎｇｏｒｄｅｇａｓｓｉｎｇｒａｔｅ ）。 ２ ． １１ 　 放气 　 狅狌狋犵犪狊狊犻狀犵 真空状态下 ， 材料中气体的自发脱附现象 。 ２ ． １２ 　 除气 　 犱犲犵犪狊狊犻狀犵 促使材料中气体脱附的工艺 。 ２ ． １３ 　 表面扩散 　 狊狌狉犳犪犮犲犱犻犳犳狌狊犻狅狀 吸附相分子沿吸气剂表面的扩散 。 ２ ． １４ 　 表面扩散活化能 　 犪犮狋犻狏犲犲狀犲狉犵狔狅犳狊狌狉犳犪犮犲犱犻犳犳狌狊犻狅狀 单位摩尔气体分子 （ 或原子 ） 由吸附剂表面的一个活性点转移到另一个活性点时所需的最小能量 。 单位为焦每摩尔 （ Ｊ ／ ｍｏｌ ）。 ２ ． １５ 　 体扩散 　 犫狌犾犽犱犻犳犳狌狊犻狅狀 气体在吸气剂体内的扩散 。 ２ ． １６ 　 体扩散活化能 　 犪犮狋犻狏犲犲狀犲狉犵狔狅犳犫狌犾犽犱犻犳犳狌狊犻狅狀 单位摩尔气体分子 （ 原子 ） 进行体扩散时所需的最小能量 。 单位为焦每摩尔 （ Ｊ ／ ｍｏｌ ）。 ３ 　 分类术语和定义 ３ ． １ 　 吸气剂 　 犵犲狋狋犲狉 在一定条件下 ， 能有效地吸着某些 （ 某种 ） 气体或蒸汽 ， 以获得 、 维持真空以及纯化气体或可以精确释放特定物质的材料 、 制剂或元件 。 ３ ． ２ 　 吸气材料 　 犵犲狋狋犲狉犻狀犵犿犪狋犲狉犻犪犾 在一定条件下 ， 对某些 （ 某种 ） 气体具有特殊活性的材料 ， 根据材料的组分 ， 也称为 “ 吸气金属 ”、“ 吸气合金等 ”。 ３ ． ３ 　 吸气剂膜 　 犵犲狋狋犲狉犳犻犾犿 吸气剂中的吸气材料经蒸散后 ， 在沉积面上形成的薄膜 。 ３ ． ４ 　 单质型吸气剂 　 犲犾犲犿犲狀狋犪狉狔犵犲狋狋犲狉 由单一元素材料制成的吸气剂 。 ３ ． ５ 　 合金型吸气剂 　 犪犾犾狅狔犵犲狋狋犲狉 由合金材料制成的吸气剂 。 ２ 犌犅 ／ 犜 ４３１４ — ２０１７ ３ ． ６ 　 蒸散型吸气剂 　 犳犾犪狊犺犵犲狋狋犲狉 需采用蒸散工艺 ， 靠吸气材料在蒸散过程中和沉积成膜后才能具有吸气作用的吸气剂 。 ３ ． ７ 　 反应型吸气剂 　 狉犲犪犮狋犻狏犲犵犲狋狋犲狉 蒸散时兼有化学反应的吸气剂 。 ３ ． ８ 　 吸热型吸气剂 　 犲狀犱狅狋犺犲狉犿犻犮犵犲狋狋犲狉 蒸散时呈吸热反应的吸气剂 。 ３ ． ９ 　 放热型吸气剂 　 犲狓狅狋犺犲狉犿犻犮犵犲狋狋犲狉 蒸散时呈放热反应的吸气剂 。 ３ ． １０ 　 非蒸散型吸气剂 　 狀狅狀犲狏犪狆狅狉犪犫犾犲犵犲狋狋犲狉 不需蒸散 ， 在一定条件下激活后 ， 即有吸气作用的吸气剂 。 ３ ． １１ 　 体吸气剂 　 犫狌犾犽犵犲狋狋犲狉 表面与实体都能参与吸气 ， 其吸气特性与体扩散速率关系甚密的吸气剂 。 ３ ． １２ 　 低温吸气剂 　 犵犲狋狋犲狉犳狅狉犾狅狑狋犲犿狆犲狉犪狋狌狉犲狊 经激活后 ， 在常温下具备良好吸气能力的吸气剂 。 ３ ． １３ 　 高温吸气剂 　 犵犲狋狋犲狉犳狅狉犺犻犵犺狋犲犿狆犲狉犪狋狌狉犲狊 经激活后在 ２００℃ 以上才能具备良好吸气性能的吸气剂 。 ３ ． １４ 　 低温激活型吸气剂 　 犵犲狋狋犲狉犳狅狉犾狅狑狋犲犿狆犲狉犪狋狌狉犲狊犪犮狋犻狏犪狋犻狅狀 在 ５００℃ 以下可以有效激活的吸气剂 。 ３ ． １５ 　 高温激活型吸气剂 　 犵犲狋狋犲狉犳狅狉犺犻犵犺狋犲犿狆犲狉犪狋狌狉犲狊犪犮狋犻狏犪狋犻狅狀 在 ８００℃ 以上可以有效激活的吸气剂 。 ３ ． １６ 　 高牢固度吸气剂 　 犵犲狋狋犲狉犳狅狉犺犻犵犺犳犻狉犿狀犲狊狊 在高强度振动条件下 ， 没有超过微米级微粒脱落的吸气剂 。 ３ ． １７ 　 热子型吸气剂 　 狋犺犲狉犿犻狊狋狅狉犵犲狋狋犲狉 以热子加热方式进行激活的吸气剂 。 ３ ． １８ 　 吸气剂载体 　 犵犲狋狋犲狉犮犪狉狉犻犲狉 装载吸气剂载料的器具 。 其形状有 ： 带 、 槽环 、 碟 、 管等 ； 相应称呼为 ： 吸气剂带 、 吸气剂环 、 吸气剂 碟 、 吸气剂管等 。 注 ： 也称为吸气剂容器 （ ｇｅｔｔｅｒｃｏｎｔａｉｎｅｒ ）。 ３ 犌犅 ／ 犜 ４３１４ — ２０１７ ３ ． １９ 　 电阻加热型吸气剂载体 　 狅犺犿犻犮犺犲犪狋犻狀犵犮犪狉狉犻犲狉 以直接通电加热方式来加热的吸气剂载体 ， 也称 “ 开式载体 ”，“ 开式容器 ”。 ３ ． ２０ 　 感应加热型吸气剂载体 　 犻狀犱狌犮狋犻狅狀犺犲犪狋犻狀犵犮犪狉狉犻犲狉 以感应加热方式来加热的吸气剂载体 ， 也称 “ 闭式载体 ”、“ 闭式容器 ”。 ３ ． ２１ 　 吸气剂支架 　 犵犲狋狋犲狉狊狌狆狆狅狉狋 用来将吸气剂安装和定位在真空器件中的辅助件 ， 形状有 ： 带 、 杆 、 框等 。 ３ ． ２２ 　 吸气剂支撑 　 犵犲狋狋犲狉犿狅狌狀狋 用来把吸气剂及其支架 （ 如果有的话 ） 固定在吸气剂测试泡特定位置的机构 。 ３ ． ２３ 　 反射器 　 狉犲犳犾犲犮狋狅狉 在蒸散型吸气剂蒸散时 ， 使吸气材料作定向蒸散的零件 。 ３ ． ２４ 　 吸气剂元件 　 犵犲狋狋犲狉犱犲狏犻犮犲 由吸气材料 、 辅助材料 、 载体和其他专用部件组合在一起的综合体 。 注 ： 实际使用中 ， 允许简称吸气剂 。 ３ ． ２５ 　 吸气剂载料 　 犵犲狋狋犲狉犳犻犾犾 装载于吸气剂载体的吸气材料 （ 含掺气合金 ） 和辅助材料的混合物 。 ３ ． ２６ 　 吸气剂装载量 　 犪犿狅狌狀狋狅犳犳犻犾犾犻狀犵犵犲狋狋犲狉 装入吸气剂载体中的吸气剂载料的重量 。 单位为克 （ ｇ ）。 ３ ． ２７ 　 掺气 　 犱狅狆犲犱犵犪狊 在蒸散型吸气剂的蒸散过程中 ， 让一定量合适气体同时进入空间的手段 。 注 ： 目的在于改善吸气剂膜的结构和分布 ， 用以提高吸气剂膜的吸气能力 。 ３ ． ２８ 　 掺气合金 　 犪犾犾狅狔狑犻狋犺狋犺犲犵犪狊犱狅狆犲犱 含有掺气合金的吸气剂