ICS23.160 J78 中华人民共和国国家标准 GB/T32293—2015 真空技术 真空设备的检漏方法选择 Vacuumtechnology—Selectionofleaktestmethodsforvacuumequipment 2015-12-10发布 2016-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 人员资格 1 ………………………………………………………………………………………………… 5 通用要求 2 ………………………………………………………………………………………………… 6 检漏方法汇总 2 …………………………………………………………………………………………… 7 检漏方法选择程序 3 ……………………………………………………………………………………… 8 检漏方法的选择 3 ………………………………………………………………………………………… 9 检漏安全 5 ………………………………………………………………………………………………… 附录A(规范性附录) 不同检漏条件的漏率修正 6 ……………………………………………………… 附录B(规范性附录) 真空设备常用检漏方法及主要特征参数 8 ……………………………………… 附录C(资料性附录) 真空设备其他检漏方法及主要特征参数 10 ……………………………………… ⅠGB/T32293—2015 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。 本标准起草单位:北京卫星环境工程研究所、中国空间技术研究院兰州空间技术物理研究所、安徽 皖仪科技股份有限公司、台州环球真空设备制造有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、中山凯旋真 空技术工程有限公司、威海智德真空科技有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、沈阳真空技术研 究所。 本标准主要起草人:孙立臣、史纪军、李得天、刘恩均、汪力、闫荣鑫、张春元、孙刚、陈光奇、刘磊、 黄文平、赵伟胜、赵计春、言继春、王功发、言润泉、高峰、胡双丽、林乐忠、王长明、王玲玲。 ⅢGB/T32293—2015 真空技术 真空设备的检漏方法选择 1 范围 本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序 及选择原则、检漏方法的特征参数。 本标准适用于真空设备的检漏方法选择,适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀 门、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空冷冻干燥设备、表面分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设 备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准 执行。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T3163 真空技术 术语 GB/T9445 无损检测 人员资格鉴定与认证 3 术语和定义 GB/T3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 漏率 leakagerate 在规定条件下,一种特定气体通过漏孔的流量。 3.2 有效最小可检漏率 effectiveminimumdetectableleakagerate qemin 在具体的工作条件下,检漏方法所能检出的最小漏孔漏率。 3.3 允许漏率 acceptableleakagerate 真空设备正常工作所能接受的最大漏率。 3.4 黏滞漏孔 viscousleak 漏孔的质量流率反比于流动气体黏度的一种漏孔。 3.5 分子漏孔 molecularleak 漏孔的质量流率正比于流动气体分子质量平方根的倒数的一种漏孔。 4 人员资格 建议进行检漏方法选择的人员具备GB/T9445所要求的2级或2级以上资格。 1GB/T32293—2015 5 通用要求 5.1 检漏方法 检漏方法应包括基础检漏方法和应用技术两部分。 示例:氦质谱真空护罩法的基础方法是氦质谱真空法,应用技术是护罩技术。 5.2 选择检漏方法的要求 选择检漏方法时应综合考虑有效最小可检漏率、检漏技术条件、安全因素和经济因素。 5.3 允许漏率 5.3.1 允许漏率的组成 真空设备所有有密封要求的组成部分及连接处的漏率之和组成真空设备的允许漏率,且应不大于 真空设备的允许漏率。 5.3.2 确定的要素 允许漏率应与真空设备的功能和工作条件相符,并明确检漏条件。主要的检漏条件有: a) 温度; b) 压力; c) 示踪介质。 5.4 检漏的要求 5.4.1 漏率修正 检漏条件应与真空设备的工作条件一致。如无法满足,可按附录A修正漏率。 5.4.2 泄漏稳定时间 选择任何一种检漏方法进行检漏时,都应考虑泄漏稳定所需要的时间。 5.4.3 洁净要求 真空设备在检漏时应洁净、去污,避免污染物堵塞漏孔。典型的污染物来源有: a) 碎屑; b) 灰尘; c) 油污; d) 焊渣; e) 油漆标记; f) 表面腐蚀。 6 检漏方法汇总 6.1 常用检漏方法 真空设备常用检漏方法及主要特征参数见附录B,常用基础检漏方法有: 2GB/T32293—2015 a) 氦质谱真空法; b) 氦质谱正压法; c) 气泡法; d) 压力变化法; e) 卤素内-外式检漏法; f) 超声检漏法。 注:表B.1中规定的有效最小可检漏率qemin是通常情况下获得的,实际应用时,受检漏条件和检漏系统配置的影 响,其值略有不同。 6.2 其他检漏方法 质谱法、声学法、高压放电法、传感器检漏法、流量计法等其他检漏方法也可用于真空设备,主要方 法和特征参数见附录C。 7 检漏方法选择程序 真空设备检漏方法的选择程序见图1。 图1 真空设备的检漏方法选择程序 8 检漏方法的选择 8.1 确定检漏方法选择条件 8.1.1 检漏类型 真空设备检漏方法的类型包括: a) 定性检漏; b) 定量检漏; c) 定位检漏。 8.1.2 主要技术条件 真空设备检漏方法选择的主要技术条件包括: a) 真空设备的允许漏率; b) 真空设备的承压特性。 3GB/T32293—2015 8.1.3 检漏实施条件 真空设备检漏方法选择的主要实施条件包括: a) 检漏实施的影响; b) 是否具备检测仪器; c) 是否具备示踪介质; d) 真空设备外形和密封结构; e) 示踪介质与真空设备材料的相容性; f) 检漏方法要求的工艺措施与真空设备工艺的匹配性; g) 检漏所处阶段。 8.2 初步选择检漏方法 8.2.1 与检漏类型相关的选择 与检漏类型相关的选择,应遵循: a) 需要测量真空设备的漏孔、局部或总体漏率时,选择定量检漏的方法; b) 基于比对原理的定量检漏方法,应包含必要的检漏系统校准程序; c) 当真空设备漏率不满足密封性能要求、存在不可接受漏孔且有修复需求时选择定位检漏方法; d) 一般情况下,定位检漏方法、定量检漏方法可用作定性检漏,定位检漏方法不能直接用于定量 检漏,用于局部区域的定量检漏方法可用作定位检漏。 8.2.2 与主要技术条件相关的选择 与主要技术条件相关的选择,应遵循: a) 所选检漏方法的有效最小可检漏率不应大于允许漏率的1/10; b) 所施加的检漏压力不应大于真空设备的工作压力; c) 所施加的检漏压力的方向、大小应与真空设备在工作条件下的压力状态一致。 8.2.3 与检漏实施条件相关的选择 与检漏实施条件相关的选择,应遵循: a) 检漏方法实施后不应给真空设备、检测仪器、实施人员带来不可接受影响; b) 在选择检测仪器时,应优先考虑利用真空设备本身或现场可用于检漏的检测仪器进行检漏; c) 在选择示踪介质时,应优先考虑利用真空设备工作介质或预置的可用于检漏的示踪介质进行 检漏,其次考虑检漏方法本身使用的示踪介质进行检漏; d) 检漏方法应满足真空设备的外形结构、密封结构对检漏实施的要求,便于实施检漏; e) 检漏方法所采用的示踪介质应与被检真空设备相容,不与其材料发生反应; f) 检漏方法表面处理的工艺应与被检真空设备的要求相匹配; g) 在真空设备生产阶段,可适当提高密封性能要求,减小组件的允许漏率。 8.3 确定检漏方法 从安全因素、环境因素和经济因素等方面,对初步选择的检漏方法进行综合评价,优先选择安全风 险小、环境污染小、经济的检漏方法。 4GB/T32293—2015 9 检漏安全 9.1 压差 所选检漏方法施加的检漏压力不应超过真空设备的允许压力,避免人员伤害或设备损坏。 含有液氮冷阱的真空设备,检漏时应遵守规定的放空程序。 9.2 危险材料 含有危险材料的真空设备,应予以识别,并在检漏开始前设置防护措施。 对所有气体的操作都须谨慎,应考虑气体的性质,如窒息、有毒等。 9.3 用电安全 所选检漏方法使用的用电仪器设备应考虑用电安全,做好漏电保护措施。 5GB/T32293—2015