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书 书 书犐犆犛 77 . 150 犎 66 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 / 犜 11071 — 2018 /G21 /G22 GB / T11071 — 2006 /G21   /G22   /G23   /G24 犣狅狀犲狉犲犳犻狀犲犱犵犲狉犿犪狀犻狌犿犻狀犵狅狋 2018  12  28 /G25 /G26 2019  07  01 /G27 /G28 /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G33 /G2F /G30 /G34 /G35 /G36 /G25 /G26书 书 书前    言    本标准按照 GB / T1.1 — 2009 给出的规则起草 。 本标准代替 GB / T11071 — 2006 《 区熔锗锭 》, 与 GB / T11071 — 2006 相比 , 除编辑性修改外主要技术变化如下 : ——— 范围进一步明确为 “ 本标准适用于以还原锗锭及锗单晶返料为原料 , 经区熔提纯工艺制备得到的区熔锗锭 。 ZGe0 区熔锗锭主要用于制备半导体及高纯锗探测器用的高纯锗单晶 ; ZGe1 区熔锗锭主要用于制备红外光学用的锗单晶 、 太阳能电池用的锗单晶及各类锗  铬 、 锗  硅合金等 ”( 见第 1 章 )。 ——— 增加了区熔锗锭在 ( 23±0.5 ) ℃ 下电阻率的要求 ( 见 3.2 )。 ———“ 同一根锗锭的最大与最小截面面积之差不大于平均截面面积的 15% ” 修改为 “ 同一根区熔锗锭的头尾两端的高度差不大于 4mm ”( 见 3.3 , 2006 年版的 3.3 )。 ———“ 锭长 100mm ~ 500mm ” 修订为 “ 长度应不小于 100mm ”( 见 3.3 , 2006 年版的 3.3 )。 ——— 增加了区熔锗锭的表面应无孔洞的要求 ( 见 3.4 , 2006 版的 3.4 )。 本标准由中国有色金属工业协会提出 。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会 ( SAC / TC243 ) 归口 。 本标准起草单位 : 云南临沧鑫圆锗业股份有限公司 、 有研光电新材料有限责任公司 、 中锗科技有限公司 、 衡阳恒荣高纯半导体材料有限公司 、 广东先导稀材股份有限公司 、 锡林郭勒通力锗业有限责任公司 、 云南东昌金属加工有限公司 。 本标准主要起草人 : 包文东 、 普世坤 、 李贺成 、 冯德伸 、 惠峰 、 范德胜 、 朱知国 、 李正美 、 董汝昆 、 朱刘 、 尹士平 、 王晓华 。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为 : ——— GB / T11071 — 1989 、 GB / T11071 — 2006 。 Ⅰ 犌犅 / 犜 11071 — 2018 区   熔   锗   锭 1   范围 本标准规定了区熔锗锭的要求 、 试验方法 、 检验规则 、 标志 、 包装 、 运输 、 贮存 、 质量证明书和订货单 ( 或合同 ) 内容 。 本标准适用于以还原锗锭及锗单晶返料为原料 , 经区熔提纯工艺制备得到的区熔锗锭 。 ZGe0 区熔锗锭主要用于制备半导体及高纯锗探测器用的高纯锗单晶 ; ZGe1 区熔锗锭主要用于制备红外光学和太阳能电池用的锗单晶及各类锗  铬 、 锗  硅合金等 。 2   规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。 凡是注日期的引用文件 , 仅注日期的版本适用于本文件 。 凡是不注日期的引用文件 , 其最新版本 ( 包括所有的修改单 ) 适用于本文件 。 GB / T4326   非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法 YS / T602   区熔锗锭电阻率测试方法   两探针法 3   要求 3 . 1   产品分类 区熔锗锭按电学性能分为两个牌号 : ZGe0 、 ZGe1 。 ZGe   表示区熔锗锭  □  阿拉伯数字 ,  表示产品等级 3 . 2   电学性能 区熔锗锭的电学性能应符合表 1 的规定 。 电阻率可选择采用在 20℃ 或 23℃ 的条件下进行测试 , 并满足表 1 的规定 。 表 1   电学性能 牌号电阻率 /( Ω · cm ) 检测单晶的参数 ( 77K ) ( 20±0.5 ) ℃ ( 23±0.5 ) ℃ 载流子浓度 cm -3 载流子迁移率 cm -3 /( V · S ) ZGe0 ≥ 50 ≥ 47 ≤ 1.5×10 12 ≥ 3.7×10 4 ZGe1 ≥ 50 ≥ 47 — — 3 . 3   尺寸外形 区熔锗锭的横截面应为梯形 , 同一根区熔锗锭的头尾两端的高度差应不大于 4mm 。 区熔锗锭的 1 犌犅 / 犜 11071 — 2018 上宽应不小于 26mm , 下宽应不小于 21mm , 高度应不小于 23mm , 长度应不小于 100mm 。 3 . 4   表面质量 区熔锗锭的表面应呈银灰色光泽 , 无氧化膜 、 裂纹 、 孔洞和浮渣 。 3 . 5   其他 需方如对产品电学性能和尺寸外形等有其他特殊要求 , 可由供需双方另行商定 。 4   试验方法 4 . 1   区熔锗锭的电阻率检验按 YS / T602 的规定沿区熔锗锭底面的中心线纵向进行检验 , 点间距不大 于 30mm 。 4 . 2   锗单晶的载流子浓度和载流子迁移率的检验按 GB / T4326 的规定进行 , 测试样品从头部切取 。 4 . 3   区熔锗锭的横截面尺寸用游标卡尺进行测量 , 长度用直尺进行测量 。 4 . 4   区熔锗锭的表面质量用目视检查 。 5   检验规则 5 . 1   检查和验收 5 . 1 . 1   产品应由供方技术监督部门进行检验 , 保证产品质量符合本标准 ( 或订货合同 ) 的规定 , 并填写 质量证明书 。 5 . 1 . 2   需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验 , 如检验结果与本标准 ( 或订货合同 ) 的规定不符时 , 应在收到产品之日起 1 个月内向供方提出 , 由供需双方协商解决 。 如需仲裁 , 仲裁取样按 5.4 进行 。 5 . 2   组批 区熔锗锭应成批提交验收 。 每批应由同一牌号的产品组成 , 每批不大于 100kg 。 5 . 3   检验项目 5 . 3 . 1   每批产品应对电阻率 、 尺寸外形 、 表面质量进行检验 。 5 . 3 . 2   ZGe0 牌号的产品需制成锗单晶后对载流子浓度 、 载流子迁移率进行检验 。 5 . 4   取样和制样 5 . 4 . 1   尺寸外形和表面质量的检验应逐根进行 。 5 . 4 . 2   电阻率的检验取样按总根数的 10% 抽取 。 5 . 4 . 3   ZGe0 牌号产品的载流子浓度和载流子迁移率的取样按每批随机抽取 1 根 , 并按附录 A 规定的方法将其制备成锗单晶 。 5 . 5   检验结果的判定 5 . 5 . 1   尺寸外形或表面质量的检验结果不合格时 , 判该根产品不合格 。 5 . 5 . 2   电阻率的检验结果不合格时 , 判该批产品不合格 。 5 . 5 . 3   ZGe0 牌号产品的载流子浓度或载流子迁移率的检验结果不合格时 , 判该批产品不合格 , 或由供需双方协商确定 。 2 犌犅 / 犜 11071 — 2018 6   标志 、 包装 、 运输 、 贮存和质量证明书 6 . 1   标志 6 . 1 . 1   每根区熔锗锭应密封于聚乙烯薄膜袋中 , 并在袋上贴上标签 , 注明供方名称 、 商标 、 牌号和批号 。 6 . 1 . 2   区熔锗锭应成箱包装 , 每箱应注明 : a )   供方名称 ; b )   产品名称和牌号 ; c )   批号 。 6 . 2   包装 6 . 2 . 1   将密封于聚乙烯薄膜袋中的区熔锗锭放在泡沫塑料垫的凹槽内 , 然后叠放入符合环保要求的包装箱内 , 并用填料塞紧 , 以防区熔锗锭窜动 。 每箱区熔锗锭质量不大于 50kg 。 包装箱外用包扎带捆牢 , 箱外应有 “ 防震 ”“ 防潮 ”“ 防腐蚀 ” 字样或标志 。 6 . 2 . 2   ZGe0 牌号区熔锗锭装箱时 , 若客户有需求 , 可在其中放入按附录 A 制备的锗单晶及检测样品 。 锗单晶和检测样品分别密封装在聚乙烯薄膜袋内 , 并计入批重 , 并在箱外注明 “ 内有检测样品 ” 字样 。 6 . 3   运输 、 贮存 区熔锗锭在运输和贮存过程中要防止机械损伤 、 防腐蚀 、 防潮 、 防震动 。 6 . 4   质量证明书 每批产品应附有质量证明书 , 其上注明 : a )   供方名称 、 地址 、 电话 、 传真 ; b )   产品名称和牌号 ; c )   批号 ; d )   分析检验结果和技术监督部门印记 ; e )   本标准编号 ; f )   出厂日期 ( 或包装日期 )。 7   订货单 ( 或合同 ) 内容 本标准所列材料的订货单 ( 或合同 ) 应包括下列内容 : a )   产品名称 ; b )   牌号 ; c )   尺寸外形 、 电阻率及其他特殊要求 ; d )   数量 ; e )   本标准编号 ; f )   其他 。 3 犌犅 / 犜 11071 — 201

.pdf文档 GB-T 11071-2018 区熔锗锭

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