ICS71.100.20 CCSG86 中华人民共和国国家标准 GB/T18867—2025 代替GB/T18867—2014 电子气体 六氟化硫 Electronicgas—Sulphurhexaflouride 2025-04-25发布 2025-11-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替GB/T18867—2014《电子工业用气体 六氟化硫》,与GB/T18867—2014相比,除结 构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下: ———更改了范围(见第1章,2014年版的第1章); ———更改了六氟化硫应符合的技术要求(见第4章,2014年版的第3章); ———更改了采样的要求(见第5章,2014年版的4.1.3、4.1.5); ———更改了纯度计算方法(见6.1,2014年版的4.2); ———更改了氧+氩、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定方法(见6.2,2014年版的 4.3); ———增加了氢、六氟乙烷和八氟丙烷含量的测定方法(见6.2); ———增加了尾气处理的要求(见6.6); ———更改了检验规则(见第7章,2014年版的4.1); ———更改了标志、包装、运输及贮存的要求(见8.1、8.2,2014年版的5.1); ———更改了安全信息的内容(见8.3,2014年版的5.2)。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:昊华气体有限公司、福建德尔科技股份有限公司、浙江省化工研究院有限公司、 福建永晶科技股份有限公司、上海上芃电气有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、南大光电(淄博)有 限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、福建恒申电子材料科技 有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大特气体有限公司、 上海华爱色谱分析技术有限公司、联雄投资(上海)有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复 科金压力容器有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、广东电网有限责 任公司电力科学研究院、国网山东省电力公司电力科学研究院、深圳供电局有限公司、国网湖南省电力 有限公司电力科学研究院、上海凡伟仪器设备有限公司、西南化工研究设计院有限公司。 本文件主要起草人:陈兴龙、汤月贞、陈施华、林德荣、史婉君、钟卉菲、刘春花、李文、陈凯、史兰、 黄秀荣、张艳志、张露露、陈艳珊、吕磊、谢世鹏、郭琼、孙福楠、依俊廷、杜雨桐、方华、黄辉、杨金山、 鲍光强、王大为、李明、谈益强、尹乐乐、赵洁、唐念、李丽、齐国栋、唐峰、吴俊杰、何波、唐中伟、赖晓峰、 周鹏云、唐霞梅。 本文件于2002年首次发布,2014年第一次修订,本次为第二次修订。 ⅠGB/T18867—2025