(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222034316.5 (22)申请日 2022.08.03 (73)专利权人 江苏德润光电科技有限公司 地址 225600 江苏省扬州市高邮经济开发 区凌波路江苏德润光电科技有限公司 (72)发明人 何飞　方艺霖　张靖　 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 3/12(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置 (57)摘要 本实用新型公开了多晶硅片加工技术领域 的一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置， 包括喷淋 箱， 喷淋箱的一侧底部分别固定安装有进水管和 出水管， 喷淋箱的内部开设有开口向上的喷淋 槽， 喷淋槽的左右两侧槽壁均固定安装有喷淋 孔， 喷淋孔与进水管相连通， 喷淋槽的底部槽壁 固定安装有超声波震板， 喷淋槽的槽内可拆卸安 装有放置组件， 喷淋箱的顶部一侧活动安装有盖 板， 本实用新型无需人工手动对多晶硅片进行喷 淋清洗， 省时省力， 同时可 以对多晶硅片进行批 量清洗， 提高了脱胶的效率。 权利要求书1页 说明书2页 附图2页 CN 218123360 U 2022.12.23 CN 218123360 U 1.一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置， 包括喷淋箱(1)， 其特征在于： 所述喷淋箱(1)的一 侧底部分别固定安装有进水管(2)和出水管(3)， 所述喷淋箱(1)的内部开设有开口向上的 喷淋槽(4)， 所述喷淋槽(4)的左右两侧槽壁均固定安装有喷淋孔(5)， 所述喷淋孔(5)与所 述进水管(2)相连通， 所述喷淋槽(4)的底部槽壁固定安装有超声波震板(6)， 所述喷淋槽 (4)的槽内可拆卸安装有放置组件(7)， 所述喷淋箱(1)的顶部一侧活动安装有盖 板(11)。 2.根据权利要求1所述的一种 多晶硅片 温水脱胶喷淋装置， 其特征在于： 所述放置组件 (7)包括放置框(71)、 插槽(72)以及挂耳(73)， 所述插槽(72)分别等距安装在所述放置框 (71)的前后两侧内框壁， 所述挂耳(73)的数量设置有四组， 四组所述挂耳(73)分别对称固 定安装在所述 放置框(71)的前后两侧外 框壁。 3.根据权利要求2所述的一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置， 其特征在于： 所述喷淋槽 (4)的前后两侧槽壁均对称固定安装有两组挂钩(8)， 所述 挂钩(8)与所述 挂耳(73)相适配。 4.根据权利要求1所述的一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置， 其特征在于： 所述喷淋箱 (1)的前侧固定安装有控制器(9)， 所述控制器(9)与所述超声 波震板(6)设置为电性连接 。 5.根据权利要求1所述的一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置， 其特征在于： 所述进水管 (2)和所述出 水管(3)上均固定安装有阀门。 6.根据权利要求1所述的一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置， 其特征在于： 所述盖板(11) 与所述喷淋箱(1)之间安装有对称平行的两组铰链(10)。 7.根据权利要求1所述的一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置， 其特征在于： 所述喷淋箱 (1)的底部四角处均固定安装有支撑腿(12)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218123360 U 2一种多晶硅片温 水脱胶喷淋装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及多晶硅片加工技术领域， 具体为一种多晶硅片温水脱胶喷淋装 置。 背景技术 [0002]多晶硅片， 是单质硅的一种形态。 熔融的单质硅在过冷条件下凝固时， 硅原子以金 刚石晶格形态排列成许多晶核， 如这些 晶核长成晶面取向不同的晶粒， 则这些 晶粒结合起 来， 就结晶成多晶硅。 多晶硅片分为电子级和太阳能级。 在多晶硅片加工的过程中， 为了获 得洁净度高的多晶硅片， 往往多晶硅片在经过线切割后需经过脱胶清洗。 但现有的多晶硅 片脱胶清洗的方式多采用人工手动进行喷淋清洗， 不仅费时费力， 且难以对多晶硅片进行 批量清洗， 降低了脱胶的效率， 为此， 我们提出一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置 。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于提供一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置， 以解决上述背景技 术中提出的问题。 [0004]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种多晶硅片温水脱胶喷淋装 置， 包括喷淋箱， 所述喷淋箱的一侧底部 分别固定安装有进 水管和出水管， 所述喷淋箱的内 部开设有开口向上 的喷淋槽， 所述喷淋槽的左右两侧槽壁均固定安装有喷淋孔， 所述喷淋 孔与所述进水管相连通， 所述喷淋槽的底部槽壁固定安装有超声波震板， 所述喷淋槽的槽 内可拆卸安装有放置组件， 所述喷淋箱的顶部一侧活动安装有盖 板。 [0005]作为优选， 所述放置组件包括放置框、 插槽以及挂耳， 所述插槽分别等距安装在所 述放置框的前后两侧内框壁， 所述挂耳 的数量设置有四组， 四组所述挂耳分别对称 固定安 装在所述 放置框的前后两侧外 框壁。 [0006]作为优选， 所述喷淋槽 的前后两侧槽壁均对称固定安装有两组挂钩， 所述挂钩与 所述挂耳相适配。 [0007]作为优选， 所述喷淋箱的前侧固定安装有控制器， 所述控制器与所述超声波震板 设置为电性连接 。 [0008]作为优选， 所述进水 管和所述出 水管上均固定安装有阀门。 [0009]作为优选， 所述盖 板与所述喷淋箱之间安装有对称平行的两组铰链。 [0010]作为优选， 述喷淋箱的底部四角处均固定安装有支撑腿。 [0011]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果是： [0012]1、 本实用新型中， 通过进水管将外界的温水导入到喷淋箱中， 并通过喷淋槽左右 两侧的喷淋孔喷出， 对多晶硅片进行初步的脱胶清洗， 同时通过控制器启动超声波震板， 通 过超声波震板发射超声波对多晶硅片进行进一步的脱胶清洗， 无需人工手动进行喷淋清 洗， 省时省力。 [0013]2、 本实用新型中设置有放置组件， 通过在放置框的前后两侧内框壁分别等距安装说　明　书 1/2 页 3 CN 218123360 U 3