(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122898379.0 (22)申请日 2021.11.24 (73)专利权人 上海科原 环境科技有限公司 地址 201821 上海市嘉定区工业区叶城路 925号B区4幢JT20 066室 (72)发明人 张宏　张正星　 (74)专利代理 机构 北京盛凡佳华专利代理事务 所(普通合伙) 11947 专利代理师 汤镇宇 (51)Int.Cl. B01D 53/40(2006.01) B01D 53/79(2006.01) B01D 53/26(2006.01) B01D 46/64(2022.01) B01D 53/06(2006.01)B01J 20/34(2006.01) F23G 7/06(2006.01) (54)实用新型名称 一种电子半导体行业废气治理装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种电子半导体行业废 气治理装置， 包括洗涤 塔、 除雾装置、 多级干式过 滤装置、 转轮吸附脱附装置、 加热器、 蓄热式氧化 炉、 引风机一、 引风机二、 排气筒， 所述洗涤塔内 设有除雾层、 水箱、 喷淋层、 滤料层一， 洗涤塔连 接有循环给水泵， 循环给水泵与 喷淋层连通， 洗 涤塔上设有进风口一和出风口一。 本实用新型前 端预置洗涤塔把无机的酸性气体吸收， 减少对后 续设备的腐蚀， 针对中低浓度的挥发性有机废气 (VOCs)， 去除颗 粒物， 减少转轮和蓄热体的堵塞， 利用多级组合工艺， 治理后的VOC排放值远远低 于国家排 放标准、 地方 标准或行业标准。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 216498497 U 2022.05.13 CN 216498497 U 1.一种电子半导体行业废气治理装置， 包括洗涤塔(1)、 除雾装置(11)、 多级干式过滤 装置(15)、 转轮吸附脱附装置(23)、 加热器(28)、 蓄热式氧化炉(31)、 引风机一(35)、 引风机 二(36)、 排气筒(38)， 其特征在于， 所述洗涤塔(1)内设有除雾层(2)、 水箱(5)、 喷淋层(7)、 滤料层一(3)， 洗涤塔(1)连接有循环给水泵(8)， 循环给水泵(8)与喷淋层(7)连通， 洗涤塔 (1)上设有 进风口一(4)和出风口一(6)。 2.根据权利要求1所述的一种电子半导体行业废气治理装置， 其特征在于， 所述除雾装 置(11)内设有波形板(10)， 所述除雾装置(11)上设有进风口二(9)和出风口二(12)， 进风口 二(9)通过 出风口一(6)与洗涤塔(1)连通。 3.根据权利要求1所述的一种电子半导体行业废气治理装置， 其特征在于， 所述多级干 式过滤装置(15)内设有滤料层二(14)， 多级干式过滤装置(15)上设有进风口三(13)和出风 口三(16)， 进风口三(13)通过出风口二(12)与除雾装置(11)连通， 出风口三(16)连通吸附 风机(18)。 4.根据权利要求1所述的一种电子半导体行业废气治理装置， 其特征在于， 所述转轮吸 附脱附装置(23)内设有吸附区、 脱附区、 冷却区， 吸附区上设有吸附区进风口(20)和吸附区 出风口(24)， 脱附区上设有脱附区进风口(21)和脱附区出风口(25)， 冷却区上设有冷却区 出风口(22)和冷却区进风口(26)， 吸附区出风口(24)连通引风机二(36)的进风口， 引风机 二(36)的出风口连通 排气筒(38)。 5.根据权利要求1所述的一种电子半导体行业废气治理装置， 其特征在于， 所述加热器 (28)上设有进风口四(27)和出风口四(29)， 出风口四(29)连通冷却区进风口(26)， 进风口 四(27)连通脱附区出风口(25)。 6.根据权利要求1所述的一种电子半导体行业废气治理装置， 其特征在于， 所述蓄热式 氧化炉(31)内设有蓄热室(33)和燃烧室(32)， 蓄热式氧化炉(31)上连接有进风口五(30)和 出风口五(34)， 进风口五(30)通过引风机一(35)与 冷却区出风口(22)连接， 出风口五(34) 与排气筒(38)连通。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216498497 U 2一种电子半导体 行业废气治理装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体技 术领域， 具体是一种电子半导体行业废气治理装置 。 背景技术 [0002]电子半导体行业中使用的清洗剂、 显影剂、 光刻胶、 蚀刻液等溶剂中含有大量有机 物成分。 在工艺过程中， 这些有机溶剂大部 分通过挥发成为废气排放。 产生的废气特点是含 有颗粒物和酸、 碱性废气、 浓度不高、 风 量较大。 [0003]传统的蓄热式热力氧化炉(RT O)技术存在以下问题： 1、 无机的酸性物质进入RTO腐 蚀性较强； 2、 粉尘颗粒物会堵塞转轮的微 孔， 同时会在蓄热体内沉积， 影响换 热效率。 [0004]因此， 本实用新型提供了一种电子半导体行业废气治理装置， 以解决上述背景技 术中提出的问题。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的在于提供一种电子半导体行业废气治理装置， 以解决上述背景 技术中提出的问题。 [0006]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种电子半导体行业废气治理 装置， 包括洗涤塔、 除雾装置、 多级干式过滤装置、 转轮吸附脱附装置、 加热器、 蓄热式氧化 炉、 引风机一、 引风机二、 排气筒， 所述洗涤塔内设有除雾层、 水箱、 喷淋层、 滤料层一， 洗涤 塔连接有循环给 水泵， 循环给 水泵与喷淋层连通， 洗涤塔上设有 进风口一和出风口一。 [0007]作为本实用新型进一步的方案， 所述 除雾装置内设有波形板， 所述除雾装置上设 有进风口二和出风口二， 进风口二 通过出风口一与洗涤塔连通。 [0008]作为本实用新型再进一步的方案， 所述多级干式过滤装置内设有滤料层二， 多级 干式过滤装置上设有进风口三和出风口三， 进风口三通过出风口二与除雾装置连通， 出风 口三连通吸附风机 。 [0009]作为本实用新型再进一步的方案， 所述转轮吸附脱附装置内设有吸附区、 脱附区、 冷却区， 吸 附区上设有吸 附区进风口和吸 附区出风口， 脱附区上设有脱附区进风口和脱附 区出风口， 冷却区上设有冷却区出风口和冷却区进风口， 吸 附区出风口连通引风机二的进 风口， 引风机二的出风口连通 排气筒。 [0010]作为本实用新型再进一步的方案， 所述加热器上设有进风口四和出风口四， 出风 口四连通冷却区进风口， 进风口四连通脱附区出风口。 [0011]作为本实用新型再进一步的方案， 所述蓄热式氧化炉内设有蓄热室和燃烧室， 蓄 热式氧化炉上连接有进风口五和出风口五， 进风口五通过引风机一与冷却区出风口连接， 出风口五与排气筒连通。 [0012]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果是： [0013]本实用新型前端预置洗涤塔把无机 的酸性气体吸收， 减少对后续设备的腐蚀， 针 对中低浓度的挥发性有机废气(VOC s)， 去除颗粒物， 减少转轮和蓄热体的堵塞， 利用多级组说　明　书 1/3 页 3 CN 216498497 U 3