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GB-T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法.pdf
GB-T 42895-2023 微机电系统 MEMS 技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法.pdf
GB-T 42897-2023 微机电系统 MEMS 技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法.pdf
GB-T 42896-2023 微机电系统 MEMS 技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法.pdf
GB-T 26111-2023 微机电系统 MEMS 技术 术语.pdf
GB-T 42158-2023 微机电系统 MEMS 技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法.pdf
GB-T 42597-2023微机电系统(MEMS)技术 陀螺仪.pdf
GB-T 44531-2024 微机电系统(MEMS)技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范.pdf
GB-T 44515-2024 微机电系统(MEMS)技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法.pdf
GB-T 44517-2024 微机电系统(MEMS)技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法.pdf
GB-T 44529-2024 微机电系统(MEMS)技术 射频MEMS环行器和隔离器.pdf
GB-T 44839-2024 微机电系统(MEMS)技术 MEMS材料微柱压缩试验方法.pdf
GB-T 44842-2024 微机电系统(MEMS)技术 薄膜材料的弯曲试验方法.pdf
GB-T 44849-2024 微机电系统(MEMS)技术 金属膜材料成形极限测量方法.pdf
GB-T 44513-2024 微机电系统(MEMS)技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法.pdf
GB-T 44514-2024 微机电系统(MEMS)技术 层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法.pdf
GB-T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法.pdf
GB-T 42895-2023 微机电系统 MEMS 技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法.pdf
GB-T 42896-2023 微机电系统 MEMS 技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法.pdf
GB-T 42897-2023 微机电系统 MEMS 技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法.pdf
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