ICS 71.100.20 G 86 电子工业用气体 一氧化氮 Gas for electronic industry —Nitric oxide T/DLSHXH 大连市石油和化工协会团体标准 T/DLSHXH 002- 2018 2018- 09 - 08发布 2018 - 09 - 18实施 大连市 石油和化工行业协会 发布 T/DLSHXH 00 2- 2018 I 目 次 前 言 ................................ ................................ ................................ ................................ ............................ II 1 范围 ................................ ................................ ................................ ................................ ................................ 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ................................ ................................ ............ 1 3 术语和定义 ................................ ................................ ................................ ................................ .................... 1 4 技术要求 ................................ ................................ ................................ ................................ ........................ 1 5 试验方法 ................................ ................................ ................................ ................................ ........................ 2 6 检验规则 ................................ ................................ ................................ ................................ ........................ 3 7 标志、包装、运输和贮存 ................................ ................................ ................................ ............................ 4 8 安全要求 ................................ ................................ ................................ ................................ ........................ 4 T/DLSHXH 00 2- 2018 II 前 言 本标准按照 GB/T 1.1 -2009给出的规则起草。 本标准由大连科利德光电子材料有限公司提出。 本标准由大连石油和化工行业协会标准化工作委员会归口并负责解释。 本标准负责起草单位： 大连科利德光电子材料有限公司、 大连保税区科利德化工科技开发有限公司。 本标准参加起草单位： 大连石油和化工行业协会、和舰科技（苏州）有限公司、睿力集成电路有限 公司、台湾积体电路制造股份有限公司 。 本标准主要起草人：施 旖旎、焦中鹏、 刘颖、韩冬梅、 裴凯、张琳、计燕秋 。 本标准 2018年9月首次发布。 T/DLSHXH 00 2- 2018 1 电子工业用气体 一氧化氮 1 范围 本标准规定了 电子工业用气体 一氧化氮的技术要求、试验方法、检验规则及产品的包装、标志、运 输、贮存及安全要求。 本标准适用于电子工业用气体一氧化氮。 分子式： NO。 相对分子质量： 30.006（按 1997年国际相对原子质量） 。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适 用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB 5099 钢制无缝气瓶 GB/T 5832. 3 气体中微量水分的测定 第3部分： 光腔衰荡光谱法 GB 7144 气瓶颜色标志 GB/T 7230 气体检测管装置 GB 1525 8 化学品安全标签编写规定 GB 16804 气瓶警示标签 GB/T 2657 1 特种气体储存期规范 GB/T 2872 6 气体分析 氦离子化气相色谱法 TSG R000 6 气瓶安全技术监察规程 危险货物运输规则 危险化学品安全管理条例 3 术语和定义 下列术语 和定义适用于本 文件。 3.1 检测管 detector tube 检测管是指一种迅速测定空气中有害气体浓度的工具。 它是在细玻璃管中充填一定量的检测剂并用 材料固定，再将两端加热熔融封闭。 4 技术要求 电子工业用气体一氧化氮的质量应符合表 1的要求。 T/DLSHXH 00 2- 2018 2 表1 电子工业用气体一氧化氮的技术指标 5 试验方法 5.1 一氧化氮纯度 5.1.1 99.9%电子工业用气体一氧化氮纯度按 式（ 1）计算： φ=100 -(φ1+φ2+φ3+φ4)× 10-4……………………………………… （1） 式中： φ— 一氧化氮的纯度 （体积分数） ， 10-2； φ1— 二氧化碳含量 （体积分数） ， 10-6； φ2— 氧化亚氮含量 （体积分数） ， 10-6； φ3— 二氧化氮含量 （体积分数） ， 10-6； φ4— 水含量（体积分数） ， 10-6。 5.1.2 99.99%电子工业用气体一氧化氮纯度按 式（ 2）计算： φ=100 -(φ1+φ2+φ3+φ4+φ5+φ6+φ7+φ8)× 10-4……………………………… （2） 式中： φ— 一氧化氮的纯度 （体积分数） ， 10-2； φ1— 二氧化碳含量 （体积分数） ， 10-6； φ2— 氧化亚氮含量 （体积分数） ， 10-6； φ3— 二氧化氮含量 （体积分数） ， 10-6； φ4— 水含量（体积分数） ， 10-6； φ5— 氧含量（体积分数） ， 10-6； φ6— 氮含量（体积分数） ， 10-6； φ7— 甲烷含量 （体积分数） ， 10-6； φ8— 氢含量（体积分数） ， 10-6。 5.2 二氧化碳、氧、氮、甲烷、氢、氧化亚氮含量的测定 5.2.1 测定方法 按GB/T 28726规定的切割进样的方法测定一氧化氮中的二氧化碳、氧、氮、甲烷、氢、氧化亚氮项 目 指 标 一氧化氮纯度（体积分数） /10-2 ≥ 99.9 99.99 二氧化碳含量（体积分数） /10-6 ≤ 50 1 氧化亚氮含量（体积分数） /10-6 ≤ 1500 30 二氧化氮含量（体积分数） /10-6 ≤ 500 30 水含量（体积分数） /10-6 ≤ 50 15 氧含量（体积分数） /10-6 ≤ － 5 氮含量（体积分数） /10-6 ≤ － 30 甲烷含量（体积分数） /10-6 ≤ － 1 氢含量（体积分数） /10-6 ≤ － 1 T/DLSHXH 00 2- 2018 3 含量。 5.2.2 色谱柱 预柱： 长约 1.6 m、 内径约 3 mm的316 L不锈钢管， 内装粒径为 0.25 mm～0.40 mm的C