ICS23.160 N68 中华人民共和国国家标准 GB/T30434—2013 电 电阻真空计通用技术条件 Generalspecificationsforresistancevacuumgauge 2013-12-31发布 2014-08-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国实验室仪器和设备标准化技术委员会(SAC/TC526)归口。 本标准起草单位:北京北仪创新真空技术有限责任公司、机械工业仪器仪表综合技术经济研究所、 上海市计量测试技术研究院、上海云捷真空仪器有限公司、成都睿宝电子科技有限公司、沈阳仪表科学 研究院、上海维可电真空技术开发有限公司、成都国光电气股份有限公司。 本标准主要起草人:徐自勇、金丽辉、许红、陈建沪、贺良武、徐秋玲、陈凌云、李泞。 ⅠGB/T30434—2013 电阻真空计通用技术条件 1 范围 本标准规定了电阻真空计的术语和定义、使用条件、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输 和贮存。 本标准适用于压力指示范围为1.0×10-1Pa~1.0×105Pa(测量范围为5.0×10-1Pa~3.0×103Pa) 的电阻真空计(以下简称真空计)。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T191—2008 包装储运图示标志 GB/T2829—2002 周期检验计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验) GB/T3369.1—2008 过程控制系统用模拟信号 第1部分:直流电流信号 GB/T3369.2—2008 过程控制系统用模拟信号 第2部分:直流电压信号 GB4793.1—2007 测量、控制和实验室用电气设备的安全要求 第1部分:通用要求 GB/T4982—2003 真空技术 快卸连接器 尺寸 第1部分:夹紧型 GB/T6107—2000 使用串行二进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的接口 GB/T11014—1989 平衡电压数字接口电路的电气特性 GB/T25480—2010 仪器仪表运输、贮存基本环境条件及试验方法 JJG2022—2009 真空计量器具 ANSI/EIA/TIA574—1990 使用串联二进制数据交换的数据终端设备和数据电路端接设备之间 的同步接口 3 术语和定义 GB/T3163—2007界定的术语和定义适用于本文件。为了便于使用,以下重复列出了 GB/T3163—2007中的一些术语和定义。 3.1 真空计 vacuumgauge 测量低于大气压力的气体或蒸汽压力的仪器。 注:通常使用的某些真空计实际上不测量压力(术语中它是以作用在表面上的力来表达的),而是测量在规定条件 下与压力有关的某些其他物理量。 [GB/T3163—2007,定义4.1.2] 3.2 规管 gaugehead 规头 电阻真空计中,包含压力敏感元件并直接与真空系统连接的部件。 1GB/T30434—2013 [GB/T3163—2007,定义4.1.2.1] 3.3 真空计控制单元 gaugecontrolunit 电阻真空计中,包含电源和测量、控制及输出等功能所需的部件。 [GB/T3163—2007,定义4.1.2.2] 3.4 真空计指示单元 gaugeindicatingunit 电阻真空计中,以压力为单位显示输出信号的部件。 [GB/T3163—2007,定义4.1.2.21] 4 使用条件 4.1 环境温度:0℃~40℃。 4.2 相对湿度:不大于85%。 4.3 供电电源:交流额定电压220V,允许偏离额定值的范围为±10%(采用模块电源的允许在交流电 压为85V~265V的范围内工作);额定频率:50Hz,允许偏离额定值的范围为±2%。 4.4 周围无强烈振动、灰尘、强电磁干扰和腐蚀性气体。 5 要求 5.1 外观 5.1.1 规管外壳应无裂纹、锈斑或明显的气线、气泡等缺陷。 5.1.2 真空计的开关、按钮、指示灯、插头(座)、熔断器、电缆和附件等均应齐全、完好。 5.1.3 真空计所有紧固件应牢靠,不应松动脱落。 5.1.4 真空计机箱表面应平整、光洁,无明显涂层剥落、锈蚀等现象。 5.2 规管 5.2.1 电阻值 5.2.1.1 当规管热丝电阻冷态电阻值在10Ω~50Ω时,其电阻值不应超过规管设计要求值的±5%。 5.2.1.2 当规管热丝电阻冷态电阻值在51Ω~100Ω时,其电阻值不应超过规管设计要求值 的±1.5%。 5.2.2 规管与真空系统的连接 5.2.2.1 规管连接部分为圆型管道时,管道的外径应为15.5mm±0.5mm。 5.2.2.2 规管连接部分为夹紧型真空快卸法兰时,应符合GB/T4982—2003的要求。 5.2.3 密封性 规管对氦气的漏率不应大于10-8Pa·m3/s。 5.2.4 绝缘电阻 规管引出线与金属外壳之间的绝缘电阻不应小于10MΩ。 2GB/T30434—2013 5.3 整机性能 5.3.1 指示范围 指示范围为1.0×10-1Pa~1.0×105Pa。 5.3.2 测量范围内相对误差 5.3.2.1 测量范围为5.0×10-1Pa~3.0×103Pa。 5.3.2.2 测量范围内示值相对误差不应超过±50%。 5.3.3 稳定性 5.3.3.1 正式调整好开始,零点1h内漂移量不应超过测量范围下限值的±10%。 5.3.3.2 正式调整好开始,满度1h内漂移量不应超过指示范围上限值的±25%。 5.3.4 供电电源电压影响量 5.3.4.1 供电电源电压在220V±22V范围内变化时,零点的漂移量不超过测量范围下限值的±5%。 5.3.4.2 供电电源电压在220V±22V范围内变化时,满度的漂移量不超过指示范围上限值的±5%。 5.3.5 安全性能 5.3.5.1 在采用规定值的介电强度电压试验时,真空计不应出现击穿或重复飞弧现象(电晕效应和类似 现象可忽略不计)。 5.3.5.2 真空计供电电源端子与机箱外壳之间的绝缘电阻,在电源开关闭合情况下不应小于10MΩ。 5.3.6 模拟量输出信号 当真空计有模拟量输出信号时,应满足下列要求: a) 真空计模拟直流电流信号范围应符合GB/T3369.1—2008的要求; b) 真空计模拟直流电压信号范围应符合GB/T3369.2—2008的要求。 5.3.7 开关量输出接口与通信接口 5.3.7.1 当真空计有开关量输出接口时,应满足下述要求: a) 应注明接口的电气性能,如,有源或无源触点输出、触点的功率参数等; b) 应注明接口的各个引线的序号和功能。 5.3.7.2 当真空计有通信接口时,应满足下述要求: a) 真空计的数字通信接口,应优先采用RS232、RS485和RS422接口; b) 采用25针和RS232C/RS485接口应符合GB/T6107—2000的要求; c) 采用9针RS232C/RS485接口应符合ANSI/EIA/TIA574—1990的要求; d) 采用RS422接口应符合GB/T11014—1989的要求。 5.3.8 抗运输环境性能 真空计在包装完好状态下,模拟运输、贮存基本环境条件进行高温试验、低温试验、湿热试验和跌落 试验,试验结束后,打开包装,真空计应完好无损,其结果应符合5.1、5.2和5.3的要求。 5.3.9 规管完好性判断 当真空计不接规管或规管损坏时,真空计应有特别指示(具体提示方法由制造商在技术文件中给 3GB/T30434—2013 出),不应显示错误的真空度数据。 6 试验方法 6.1 试验条件 环境温度为23℃±5℃,湿度不大于85%,周围无热源、无空气对流并无振动。 6.2 外观检查 用目测、手动方法或相应的测量工具进行检查,结果应符合5.1的规定。 6.3 规管试验 6.3.1 电阻值试验 6.3.1.1 用电桥测量法测量冷态电阻,测量电路见图1。 说明: R1、R2———标准电阻,R1=R2,R1、R2取近似于R0的2倍,其误差不超过±0.5%; R0———电阻真空计规管电阻; R3———标准电阻箱,最小步进值应优于规管电阻R0的0.2%,最大电阻为R0的2倍; Rs———0kΩ~20kΩ多圈电位器; G———0.5级光点检流计; E———稳定度优于0.2%的直流稳压电源,其标称值为2V; mA———准确度等级为1级的直流毫安表。 图1 电桥测量法电路示意图 6.3.1.2 测量时取加热电流为工作时最小电流的1%。 6.3.1.3 在环境温度为23℃±5℃、湿度不大于85%,并在无热源、无空气对流及无振动的条件下,按 照规管正常使用时的安装位置放置规管。调节标准电阻箱R3,使得I3为0;这时R0=R3,R0值由电 阻箱读出,其电阻值应符合5.2.1的规定。 注:参照JJF1050—1996的有关规定进行。 4GB/T30434—2013 6.3.2 规管与真空系统的连接试验 6.3.2.1 用游标卡尺测量圆型管道的外径(离出口不小于30mm部分),结果应符合5.2.2.1的规定。 6.3.2.2 用观察或GB/T4982—2003所规定的相应检测工具进行检查,结果应符合5.2.2.2的规定。 6.3.3 密封性试验 在灵敏度不低于(5×10-10)Pa·m3/s的氦质谱检漏仪上进行检查,结果应符合5.2.3的规定。 6.3.4 绝