ICS31.030 L90 中华人民共和国国家标准 GB/T29846—2013 印 制板用光成像耐电镀抗蚀剂 Photoimageableplatingandetchingresistpasteofprintedcircuitboard 2013-11-12发布 2014-04-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位:北京力拓达科技有限责任公司、深圳容大电子材料有限公司、中国电子技术标准 化研究院。 本标准主要起草人:李春圃、邵磊、刘啟升、黄勇。 ⅠGB/T29846—2013 印制板用光成像耐电镀抗蚀剂 1 范围 本标准规定了印制板用光成像耐电镀抗蚀剂的术语和定义、性能、试验方法、检验规则和包装。 本标准适用于印制板制造用的光成像耐电镀抗蚀剂、光成像抗电镀剂、光成像抗酸性蚀刻剂和光成 像抗碱性蚀刻剂。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T191—2008 包装储运图示标志 GB/T2036—1994 印制电路术语 GB/T2421.1—2008 电工电子产品环境试验 概述和指南 GB/T4677—2002 印制板测试方法 GB/T4588.2—1996 有金属化孔单双面印制板分规范 GB/T5547—2007 树脂整理剂 黏度的测定 GB/T6753.1—2007 色漆、清漆和印刷油墨 研磨细度的测定 3 术语和定义 GB/T2036—1994界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 辊涂 rollercoating 将印制板用光成像耐电镀抗蚀剂用传动方式涂在辊涂机的涂布辊表面,然后再转印到承印物的 过程。 3.2 无图形网印 screenprintingofnopattern 用无图形网版,将印制板用光成像耐电镀抗蚀剂网印至承印物的过程。 3.3 浸涂 soakcoating 用浸入的方法将印制板用光成像耐电镀抗蚀剂均匀涂布的过程。 3.4 预干燥 predrying(pre-drying) 印制板用光成像耐电镀抗蚀剂由液态变为固态的过程为预干燥。 3.5 曝光能量 exposureenergy 感光体接收紫外光辐射使其完全固化所需的能量,用mJ/cm2表示。 1GB/T29846—2013 3.6 曝光级数 stepofexposure 用光梯尺做底片,曝光、显影后目视全部露铜的首格所对应的数值。 3.7 后固化 latercurable(postcuring) 为加强光成像耐电镀抗蚀剂耐电镀和抗蚀能力,显影后再加热或用紫外光方式加强固化的过程。 3.8 耐电镀性 platingresistance 印制板用光成像耐电镀抗蚀剂制成图形后其图形掩膜耐电镀的能力。 3.9 抗蚀刻性 etchingresistance 印制板用光成像耐电镀抗蚀剂制成图形后其掩膜抗蚀刻的能力。 4 性能 4.1 成像前 成像前的性能见表1。 表1 成像前的性能 序号 项目 性能 1 外观 黏稠液体;无硬块,搅拌后呈均匀状态 2 黏度 10dPa·s~200dPa·s 3 细度 不大于20μm 4 预干燥后的外观 无杂质、气泡、针孔,表面均匀 4.2 成像后 4.2.1 最小线宽和线间距 最小线宽和线间距见表2。 表2 最小线宽和线间距 序号 项目 性能 极限偏差 1 图形电镀蚀刻 最小线宽和线间距为0.10mm 2 图形蚀刻 最小线宽和线间距为0.075mm不超过±10% 4.2.2 耐电镀性 耐电镀性见表3。 2GB/T29846—2013 表3 耐电镀性 序号 镀层种类 镀层厚度 要求 1 镀Cu/PbSn(或Sn)Cu:13μm~25μm PbSn(或Sn):5μm~10μm 2 镀Ni/AuNi:1.3μm~5.0μm Au:0.01μm~0.05μm镀后,图形应无渗镀、起泡、脱落 注:以上电镀均为酸性电镀溶液。 4.2.3 抗蚀刻性 抗蚀刻性见表4。 表4 抗蚀刻性 序号 项目 蚀刻厚度 要求 1 酸性氯化铜蚀刻液 2 碱性氯化铜蚀刻液(pH8.3~8.7)≤35μm蚀刻后,图形应完整,无渗蚀、 起翘、脱落 5 试验方法 5.1 试样 5.1.1 试验图形 根据GB/T4588.2—1996综合测试图中的“F”制备三个样品。“F”中线宽和线间两组图形分别改 为0.075mm和0.010mm。样品可以是产品图形的一部分。 5.1.2 试样制造及数据计算 试样制造及数据计算见附录A。 5.2 外观 取样50g~80g于烧杯中静置5min后,按GB/T4677—2002中的5.1.1测试。 5.3 黏度 取样200g按GB/T5547—2007在25℃±0.5℃的环境中测试。 5.4 细度 取4滴~5滴按GB/T6753.1—2007进行测试。 5.5 预干燥后的外观 按GB/T4677—2002中的5.1.1测试。 3GB/T29846—2013 5.6 最小线宽和线间距 按5.1的要求制样后,按GB/T4677—2002中的5.1.2测试。 5.7 耐电镀性 按5.1的要求制样后,按GB/T4677—2002中的8.1.6测试。 5.8 抗蚀刻性 按5.1的要求制样后,按GB/T4677—2002中的5.1.1测试。 6 检验规则 6.1 检验条件 除非另有规定,所有试验均应在GB/T2421.1—2008规定的试验标准大气压下进行,即: a) 温度为15℃~35℃; b) 相对湿度为45%~75%; c) 大气压力为86kPa~106kPa。 6.2 检验分类 检验分类包括: a) 鉴定检验; b) 质量一致性检验。 6.3 鉴定检验 6.3.1 抽样方案 检验样品应由生产中通常使用的工艺、设备制造。随机抽取500g样品置于室内保存,其中300g 用于表5中第1项~第3项的检验。进行表5中的第4项~第7项检验时,应从余下的200g样品中取 适量制成3个具有试验图形的样板(图形也可以是产品的一部分)。 6.3.2 检验程序 鉴定检验项目、要求、试验方法及允许不合格品数应按表5规定。 表5 鉴定检验 序号 检验项目 要求章条号 试样方法章条号每样本单位 试验数合格判定数不合格 判定数 1 外观 2 黏度 3 细度 4 预干燥后的外观4.15.2 1 0 1 5.3 3 0 1 5.4 3 0 1 5.5 3 1 2 5 最小线间线宽 4.2.1 5.6 3 0 1 6 耐电镀性 4.2.2 5.7 3 0 1 7 抗蚀刻性 4.2.3 5.8 3 0 1 4GB/T29846—2013 6.3.3 不合格判定 按表5的全部检验项目检验,全部达到要求条款则鉴定检验为合格,否则为不合格,不合格应拒绝 授予鉴定合格证。 6.4 质量一致性检验 6.4.1 通则 质量一致性检验分为逐批检验和周期检验。 使用同一批原材料,在相同工艺条件下,生产的一釜产品为一个生产批;检验批构成应不多于4个 生产批。 6.4.2 逐批检验 逐批检验项目应按表6的规定。逐批检验即为材料的交货检验。抽样方案同鉴定检验。 表6 逐批检验 序号 检验项目 要求章条号 试样方法章条号 允许不合格数 检验批次 1 外观 4.1 5.2 0 每批 2 黏度 4.1 5.3 0 每批 3 细度 4.1 5.4 0 每批 4 预干燥后的外观 4.2.1 5.5 0 每批 6.4.3 周期检验 材料连续生产时按周期检验。周期检验项目按表7规定。周期检验样品应从通过逐批检验的某一 批次产品中抽取。已通过逐批检验材料不得因等待周期检验结果而推迟交货。抽样方按同鉴定检验。 表7 周期检验 序号 检验项目 要求章条号 试样方法章条号 允许不合格 检验周期 1 最小线间线宽 4.2.1 6.6 0 24个月 2 耐电镀性 4.2.2 6.7 0 24个月 3 耐蚀刻性 2.2.3 6.8 0 24个月 6.4.4 不合格判定 逐批检验均满足表5中的逐批检验项目要求,则该批检验合格,否则视为该批初检不合格。承制方 可对其返工并证明克服缺陷后,在增倍抽样的条件下进行复检。重新交付的检验批应与正常批分开,并 应清楚的注明重新检验批。复检不合格,则该批不合格。 周期检验均满足表5中的周期检验项目要求,则该周期检验合格;否则视为周期检验不合格,并停 止供货。承制方应寻找不合格的原因并进行纠正,在未证明缺陷已克服前,不应交付。 5GB/T29846—2013 7 标志、包装、运输、贮存 7.1 标志 7.1.1 包装标志 除非另有规定,标志应符合GB/T191—2008的规定并应包括如下内容: a) 公司名称; b) 地址; c) 产品名称、型号、批号、生产日期; d) 储存期限。 7.1.2 检验标志 产品合格证,合格证上应有: a) 生产批号; b) 总检盖章及检验日期; c) 本标准名称及编号。 7.2 包装 7.2.1 包装要求 包装应具备防止紫外线照射、保护产品不受损坏和避免受潮的措施。 7.2.2 包装规格 1kg、4kg、5kg、20kg。 7.3 运输 可用任何方式运输,防止机械损伤、挤压或碰撞、日晒和雨淋,并远离火源。 7.4 贮存 应在不大于25℃和相对湿度不大于75%的通