书 书 书犐犆犛 ７１ ． ０６０ ． ９９ 犌 １４ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 ２８６５４ — ２０１８ 代替 ＧＢ ／ Ｔ２８６５４ — ２０１２ 工业三氯氢硅 犜狉犻犮犺犾狅狉狅狊犻犾犪狀犲犳狅狉犻狀犱狌狊狋狉犻犪犾狌狊犲 ２０１８  ０６  ０７ 发布 ２０１９  ０１  ０１ 实施 国家市场监督管理总局 中国国家标准化管理委员会 发布书 书 书/G21 　　 /G22 　　 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C 。 /G21 /G22 /G23 /G2D /G2E ＧＢ ／ Ｔ２８６５４ — ２０１２ 《 /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 》， /G35 ＧＢ ／ Ｔ２８６５４ — ２０１２ /G36 /G37 ， /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G3D /G3E /G3F /G40 /G41 /G42 /G43 /G44 /G45 /G46 ： ——— /G3C /G3D /G47 /G29 /G48 /G3B /G49 /G4A /G4B /G4C /G4D /G4E /G4F /G28 /G22 /G23 （ /G50 /G51 ２ /G52 ， ２０１２ /G53 /G54 /G28 /G51 ２ /G52 ）； ——— /G3C /G3D /G47 /G31 /G32 /G33 /G34 、 /G55 /G32 /G55 /G33 /G34 、 /G56 /G32 /G44 /G34 /G28 /G57 /G58 /G59 /G22 /G40 /G5A ， /G5B /G5C /G47 /G5D 、 /G5E 、（ /G5F 、 /G60 、 /G61 、 /G62 ） /G63 /G64 、 （ /G65 、 /G66 、 /G67 ） /G63 /G64 、 /G63 /G68 /G28 /G59 /G22 ， /G69 /G38 /G47 /G65 /G28 /G59 /G22 （ /G50 ５．２ ， ２０１２ /G53 /G54 /G28 ５．２ ）； ——— /G69 /G38 /G47 /G6A /G6B /G6C /G6D /G4D /G28 /G6E /G6F /G70 /G71 ， /G35 /G22 /G23 /G72 /G73 /G28 /G6E /G74 /G70 /G71 /G75 /G76 （ /G50 ２０１２ /G53 /G54 /G28 ６．１ ）； ——— /G69 /G38 /G47 /G6A /G6B /G6C /G6D /G4D /G28 /G77 /G78 /G29 /G79 （ /G50 ２０１２ /G53 /G54 /G28 ６．２ ）； ——— /G69 /G38 /G47 /G7A /G7B /G7C /G75 /G7D /G7E /G7F /G80 /G81 /G82 /G6D （ ＩＣＰＭＳ ） /G83 /G79 /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G4D /G28 /G65 /G84 /G64 （ /G50 ２０１２ /G53 /G54 /G28 ６．４．２ ）； ——— /G5B /G5C /G47 /G5D 、 /G5E 、 /G5F 、 /G60 、 /G61 、 /G62 、 /G65 、 /G85 、 /G67 /G84 /G64 /G28 /G83 /G79 /G6C /G6D （ /G50 ６．３ ）； ——— /G5B /G5C /G47 /G63 /G68 （ /G86 Ｃ /G87 ） /G28 /G83 /G79 /G6C /G6D （ /G50 ６．４ ）； ——— /G5B /G5C /G47 /G88 /G89 /G8A /G6B /G8B /G89 （ /G50 ７．１ ）； ——— /G69 /G38 /G47 /G8C /G8D /G28 /G8E /G8F （ /G50 ２０１２ /G53 /G54 /G28 /G51 １０ /G52 ）。 /G21 /G22 /G23 /G90 /G4D /G91 /G92 /G93 /G94 /G44 /G95 /G2F /G30 /G96 /G75 /G97 /G98 /G27 。 /G21 /G22 /G23 /G90 /G8D /G91 /G44 /G95 /G22 /G23 /G44 /G41 /G42 /G99 /G9A /G97 /G9B /G9C /G44 /G2F /G58 /G41 /G42 /G99 /G9A /G97 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ６３ ／ ＳＣ１ ） /G9D /G9E 。 /G21 /G22 /G23 /G2B /G2C /G9F /GA0 ： /GA1 /GA2 /GA3 /G8C /G44 /G2F /GA4 /GA5 /GA6 /GA7 /GA8 /GA9 /GAA /GAB 、 /GAC /GAD /G31 /GAE /G34 /G30 /GA6 /GA7 /GA8 /GA9 /GAA /GAB 、 /GAD /GAF /GA3 /GB0 /GB1 /G41 /GA6 /GA7 /GA8 /GA9 /GAA /GAB 、 /GA1 /GA2 /G72 /G44 /G75 /GB2 /GB3 /GB4 /GA8 /GA9 /GAA /GAB 、 /GB5 /GB6 /GB7 /GB8 /GB5 /GB9 /G34 /GB3 /GA6 /GA7 /GA8 /GA9 /GAA /GAB 、 /GBA /GBB /GA3 /GBC /GBD /GBE /G44 /G2F /GA8 /GA9 /GAA /GAB 、 /G4D /GBF /G93 /GC0 /GC1 /G44 /G2F /GC2 /GC3 /GC4 /G87 /GC5 /GA8 /GA9 /GAA /GAB 。 /G21 /G22 /G23 /G3F /G40 /G2B /G2C /GC6 ： /GC7 /GBD /GC8 、 /GC9 /GCA /GCB 、 /GCC /GCD /GCE 、 /GCF /GB5 /GD0 、 /GD1 /GD2 /GD3 、 /GBC /GD4 、 /GD5 /GD6 /GD7 、 /GD8 /GD9 、 /GDA /GDB 、 /GDC /GDD /GDE 、 /GDF /GE0 /GE1 、 /GE2 /GE3 /GE4 、 /GDF /GE5 、 /GE6 /GE7 /GE8 。 /G21 /G22 /G23 /G4E /G2D /G2E /G22 /G23 /G28 /GE9 /GEA /G54 /G21 /GEB /GEC /GED /GEE /GEF ： ——— ＧＢ ／ Ｔ２８６５４ — ２０１２ 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ２８６５４ — ２０１８ /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 　　 /G29 /G2A ——— /G2B 犌犅 １２２６８ — ２０１２ /G2C ６ /G2D /G2E /G2F /G30 ， /G31 /G32 /G33 /G34 /G2C ４ /G35 ４ ． ３ /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G3D /G3E /G2E /G3F /G40 、 /G2C ３ /G35 /G3B /G3C /G41 /G3E /G42 /G2C ８ /G35 /G43 /G44 /G45 /G3F /G40 ， /G46 /G47 /G48 /G49 /G4A /G4B /G4C /G4D 。 /G4E /G4F /G50 /G51 /G52 /G53 /G54 /G55 /G2E /G56 /G57 /G4F /G58 /G59 /G5A /G43 /G44 /G45 ， /G5B /G5C /G5D /G5E /G5F /G60 /G61 /G62 /G63 /G49 /G64 /G65 /G55 /G38 /G66 /G67 ， /G68 /G69 /G6A /G49 /G64 /G65 /G6B /G6C 。 １ 　 /G6D /G6E /G21 /G22 /G23 /G29 /G79 /G47 /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G28 /G58 /GF0 、 /G40 /G5A 、 /G6A /G6B /G6C /G6D 、 /G8A /G6B /G29 /G2A /G86 /GF1 /G22 /GD3 、 /G22 /GF2 、 /GF3 /GF4 、 /GF5 /GF6 、 /GF7 /GF8 。 /G21 /G22 /G23 /GF9 /G4A /GFA /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 ， /GFB /GFC /GFD /G3F /G40 /GFE /GEF /GFF /G21 /G34 /G94 /G34 /G22 /G23 /G96 /G24 /G7D /G28 /G25 /GB4 。 ２ 　 /G2F /G6D /G45 /G6F /G55 /G70 /G71 /G46 /G4F /G4B /G4C /G26 /GFA /G21 /G4B /G4C /G28 /G27 /G4A /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G28 。 /G2D /G28 /G2E /G2F /G30 /G28