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ICS23.160 CCS J 78 GB 中华人民共和国国家标准化指导性技术文件 GB/Z42624—2023/IS0/TS20177:2018 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序 Vacuum technology—Vacuum gauges- Procedures to measure and report outgassing rates (ISO/TS20177:2018,IDT) 2023-05-23发布 2023-05-23实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/Z42624—2023/ISO/TS20177:2018 目 次 前言 引言 1 范围 规范性引用文件 术语和定义 4 符号和缩略语 测试系统 5.1 般要求 5.2 应用流量法的测试系统 5.3 累积系统 测试方法 11 6.1 概述 6.2 推荐的样品制备方式 12 6.3 测试的流程和时间 12 6.4 测试程序 13 测量不确定度 17 7.1 概述 17 7.2 用作流量比较装置的连续膨胀系统（5.2.2) 7.3 带有可计算流导元件的流量系统（5.2.3） 18 7.4 带有可测有效抽速的流量系统（5.2.4）· 18 7.5 带有可调流导元件的流量系统（5.2.5） 19 基本累积系统（5.3.2） 19 7.7 带有气体分析系统的累积系统（5.3.3） 8测试报告…· 22 附录A（资料性）各种测试系统的原理图： 23 附录B（资料性）不同测试系统的特征和适用性 28 附录C（资料性）不同测量系统对SI的可追溯性 29 参考文献

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